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외부펌프와 연결되는 가스유출관;상기 가스유출관 일측에 배치되어 반응가스의 흐름을 조절하는 제1공압밸브;상기 제1공압밸브와 연결되어 상기 가스유출관에서 일측으로 연장되는 반응관;상기 제1공압밸브 일측에 배치되고, 일단이 상기 반응관에 연결되는 압력게이지;상기 압력게이지 일측에 배치되고 상기 반응관에 연결되며, 원자층 증착과 전기화학측정이 가능한 반응모듈;상기 반응관에 연결되며, 상기 반응모듈의 반대측에 배치되는 접속어댑터;상기 반응모듈 일측에 배치되고, 상기 반응관에 연결되며 소스물질을 캐리어가스를 통해 공급하는 복수개의 전구체 캐니스터; 상기 전구체 캐니스터 일측에 배치되며, 상기 반응관의 일단에서 퍼징가스를 제어하는 제2공압밸브; 및 상기 제2공압밸브에 연결되는 퍼징가스관;을 포함하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 제1공압밸브는 상기 가스유출관과 연결되어 반응가스의 흐름을 제조하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 반응관은 일단에 제1 공압밸브가 연결되고, 타단에 제2공압밸브와 연결되며, 반응가스 또는 퍼징가스가 일 방향으로 이동하여 상기 반응모듈에 전달되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 압력게이지는 상기 반응관 내부의 압력을 측정하여 상기 제1공압밸브 또는 제2공압밸브의 개폐를 제어하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 반응모듈은 상기 반응관 일측에서 연장되는 이경관에 체결되는 상부튜브어댑터와,상기 상부튜브어댑터 내부에 구비되는 니켈메쉬가스켓과,상기 니켈메쉬가스켓 상부에 배치되고, 상기 반응가스가 도입되어 원자층 증착으로 형성되는 전해질층과 상기 전해질층 상부에서 원자층 증착으로 형성되는 양극으로 이루어진 연료전지층과,상기 연료전지층이 내측에 배치된 상태로 상부튜브어댑터와 체결되며, 내부에 상기 연료전지의 전해질층과 양극이 형성되는 형성되는 반응공간을 제공하는 하부튜브어댑터를 포함하는 원자층 증착 시스템
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6
제1항에 있어서, 상기 접속어댑터는 내측으로 전기적으로 연통되는 상부피드스루가 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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7
제5항에 있어서, 상기 하부튜브어댑터는 내측에 전기적으로 연통되는 하부피드스루를 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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8
제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 상부피드스루와 하부피드스루는 각각 인가되는 전압에 따른 전위차를 형성하여 상기 연료전지층의 전기화학분석이 가능한 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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9
제5항에 있어서, 상기 상부튜브어댑터와 하부튜브어댑터는 서로 체결되어 상기 반응공간이 진공상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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10
제1항에 있어서, 상기 전구체 캐니스터는 일단으로 캐리어 가스가 도입되는 가스공급구와, 상기 가스공급구 일측에서 소스물질을 전달하는 소스공급구와, 상기 소스공급구 일측에 구비되어 형성되는 반응가스의 흐름을 제어하는 제3공압밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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11
제1항에 있어서, 상기 퍼징가스관은 상기 제2공압밸브의 개폐에 따라 상기 반응관으로 퍼징가스를 도입하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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상기 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 원자층 증착 시스템에 있어서, (a) 니켈메쉬가스켓을 하부튜브어댑터에 안착시키고 상부튜브어댑터에 체결하여 반응모듈을 형성하는 단계;(b) 제1공압밸브를 개방하고 반응관의 압력을 감소시키는 단계;(c) 전구체 캐니스터에 소스물질을 도입하고, 일측으로 캐리어 가스를 도입하여 반응가스를 생성하는 단계;(d) 상기 반응가스를 상기 반응모듈에 도입하여 상기 니켈메쉬가스켓에 원자층을 증착하는 단계;(e) 상기 전구체 캐니스터를 통하여 상기 반응모듈에 산소가스를 도입하여 산소환원반응을 일으키는 단계; 및 (f) 상기 하부튜브어댑터에 연결된 하부피드스루와 상기 반응모듈의 반대측에서 반응관에 체결된 접속어댑터에 연결된 상부피드스루에 각각 전압을 인가하고 상기 산소환원반응에 따른 전위차를 측정하는 단계를 포함하는 원자층 증착 시스템을 이용한 전기화학측정방법
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