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정전형 광스캐너 패키지에 관한 것으로서,고정 전극(11), 상기 고정 전극(11)과 콤(comb) 결합되어 구동되는 구동전극(12), 그리고 상기 구동 전극(12)의 구동력에 의해서 회동하는 광학요소 회동부(16)를 포함하는 광스캐너부(10); 및상기 광스캐너부(10)의 상단을 덮어서 보호하되, 빛이 통과할 수 있는 투명한 전극 틸팅 투과창(160)을 포함하되, 상기 전극 틸팅 투과창은, 광스캐너로 들어오는 입사광 또는 상기 광스캐너에서 반사되는 반사광을 투과시키는 투광부(165); 및 상기 투광부(165) 이외의 영역에서 하부로 돌출되도록 형성되는 틸팅 돌기(161)를 포함하며,상기 틸팅 돌기(161)는 광스캐너부(10)의 고정 전극(11)의 소정 영역(G)을 가압하여 고정 전극(11)을 틸팅시키는 것을 특징으로 하는 정전형 광스캐너 패키지
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청구항 1에 있어서, 상기 전극 틸팅 투광창(160)은 상기 투광부(165) 이외의 영역에서 하부로 돌출되도록 형성되는 정렬 돌기(162)를 더 포함하되, 상기 정렬 돌기(162)는 상기 광스캐너부(10)의 소정 영역에 형성된 정렬공(169)에 결합되어 상기 광스캐너부(10)에 대한 상기 전극 틸팅 투광창(160)의 상대적 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 정전형 광스캐너 패키지
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청구항 2에 있어서, 상기 투광부(165)에는 파라볼릭(parabolic) 곡면형 투광부(163)가 형성된 것을 특징으로 하는, 정전형 광스캐너 패키지
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청구항 1 내지 청구항 3 중 하나의 청구항에 있어서, 상기 전극 틸팅 투광창(160)은 상기 투광부(165) 영역을 제외한 나머지 부분으로는 빛이 통과하지 못하도록 하는 애퍼츄어(210)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 정전형 광스캐너 패키지
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청구항 1 내지 청구항 3 중 하나의 청구항에 있어서, 상기 광스캐너부(10)는 광스캐너 지지부(17)를 개재하여 회로 기판(50)에 부착됨으로써, 상기 광스캐너부(10)의 고정 전극(11), 구동 전극(12), 그리고 광학요소 회동부(16)는 상기 회로 기판(50)으로 이격되어 구동 전극(12) 및 광학요소 회동부(16)가 움직일 수 있는 공간이 형성된 것을 특징으로 하는, 정전형 광스캐너 패키지
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청구항 5에 있어서, 광스캐너 지지부(17)는 세라믹 캐리어(170)를 개재한 상태로 상기 회로 기판(50)에 결합되되, 상기 전극 틸팅 투과창(160), 상기 광스캐너 지지부(17), 그리고 상기 세라믹 캐리어(170)는 서로 결합하여 밀폐된 공간을 형성하고, 상기 밀폐된 공간은 대기압보다 낮은 기압이 형성되는 것을 특징으로 하는, 정전형 광스캐너 패키지
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청구항 1 또는 청구항 2에 따른 정전형 광스캐너 패키지의 제조 방법으로서,상기 정전형 광스캐너 패키지의 전극 틸팅 투광창(160)은, 투광창 성형용 기판(310)의 표면에 산화막을 형성하는 단계(단계 (a));상기 투광창 성형용 기판(310)에 돌기 형성용 홈(320)을 형성하는 단계(단계 (b));상기 투광창 성형용 기판(310) 상에 유리 기판(330)을 적층시키는 단계(단계 (c));상기 유리 기판(330)을 가열하여 리플로우 시키는 단계(단계 (d));상기 유리 기판(330)을 평탄화 하는 단계(단계 (e)); 및 상기 투광창 성형용 기판(310)을 제거하는 단계(단계 (f))를 거쳐 제조되는 것을 특징으로 하는 정전형 광스캐너 패키지의 제조 방법
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청구항 3에 따른 정전형 광스캐너 패키지의 제조 방법으로서,상기 정전형 광스캐너 패키지의 전극 틸팅 투광창(160)은, 상기 정전형 광스캐너 패키지의 전극 틸팅 투광창(160)은, 투광창 성형용 기판(310)의 표면에 산화막을 형성하는 단계(단계 (a));상기 투광창 성형용 기판(310)에 돌기 형성용 홈(320)을 형성하는 단계(단계 (b));상기 투광창 성형용 기판(310) 상에 유리 기판(330)을 적층시키는 단계(단계 (c));상기 유리 기판(330)을 가열하여 리플로우 시키는 단계(단계 (d));상기 유리 기판(330)을 평탄화 하는 단계(단계 (e));곡면형 투광부(163)를 형성할 위치에 대응하는 상기 투광창 성형용 기판(310)의 부분을 제거하여 배면 압력 공간(311)을 형성하는 단계(단계 (f));유리 기판(330)을 가열하여 리플로우가 가능한 상태로 만든 다음, 배면 압력 공간(311)을 통하여 압력을 가함으로써, 유리 기판(330)이 부풀도록 함으로써 곡면형 투광부(163)를 형성하는 단계(단계 (g)); 및상기 투광창 성형용 기판(310)을 제거하는 단계(단계 (h))를 거쳐 제조되는 것을 특징으로 하는 정전형 광스캐너 패키지의 제조 방법
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청구항 8에 있어서, 상기 단계 (f)와 상기 단계 (g)의 사이에, 상기 유리 기판(330)의 상면에 진공 형성 공간(351)을 포함하는 진공 형성용 기판(350)을 적층하는 과정을 더 포함하되, 유리 기판(330)을 가열하여 리플로우가 가능한 상태로 만든 다음, 배면 압력 공간(311)을 통하여 압력을 가함으로써, 유리 기판(330)이 부풀도록 함으로써 곡면형 투광부(163)를 형성하는 상기 단계 (g)를 진행하는 과정에서, 상기 진공 형성용 기판(350)을 통하여 진공 형성 공간(351)에서는 공기를 빼내어 압력을 낮추는 것을 특징으로 하는 정전형 광스캐너 패키지의 제조 방법
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