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내부에 기판이 장입되는 챔버;상기 챔버 내부에 위치하며, 제1이격거리(d1)로 상기 기판과 이격되고 기상의 유기단량체 및 개시제를 상기 기판에 공급하는 상부노즐과, 상기 제1이격거리(d1)보다 짧은 제2이격거리(d2)로 상기 기판과 이격되고 기상의 금속 전구체를 상기 기판에 공급하는 하부노즐을 포함하는 이중샤워헤드부; 및 상기 상부노즐과 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 상부노즐로부터 공급되는 개시제를 가열하는 열원;을 포함하는 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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제1항에 있어서,상기 이중샤워헤드부는 복수개의 상기 상부노즐이 배열된 상부유닛과, 복수개의 상기 하부노즐이 배열된 하부유닛을 포함하고,상기 상부유닛과 상기 하부유닛은 투영(projection) 이미지 상 서로 중첩되지 않는, 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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제2항에 있어서,상기 상부유닛은 상기 상부노즐이 일렬로 배열되고,상기 하부유닛은 상기 하부노즐이 일렬로 배열되며,상기 상부유닛과 상기 하부유닛은 교번 배열되는, 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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제2항에 있어서,상기 상부유닛은 다수개의 상부노즐이 격자상으로 배열되고,상기 하부유닛은 다수개의 하부노즐이 격자상으로 배열되되,상기 상부노즐과 상기 하부노즐은 교번 배열되는, 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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제1항에 있어서,상기 이중샤워헤드부는 상기 제1이격거리(d1)로 상기 기판과 이격되며, 상기 상부노즐이 위치하는 제1플레이트와, 상기 기판과 마주보는 상기 제1플레이트의 일측면과 대향하는 상기 제1플레이트의 타측면과 이격되며, 상기 하부노즐이 위치하는 제2플레이트를 구비하고,상기 하부노즐은 상기 제2이격거리(d2)로 상기 기판과 이격되도록 상기 제1플레이트를 관통하여 설치되는, 개시제를 이용한 화학 기상증착장치
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제2항에 있어서,상기 상부노즐과 상기 하부노즐은 동일 간격으로 배열된, 개시제를 이용한 화학 기상증착장치
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제1항에 있어서,상기 열원은 줄열을 발생하는 저항체를 포함하는, 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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8
제1항에 있어서,상기 열원은 상기 상부노즐과 상기 하부노즐 사이에 위치하는, 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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제1항에 있어서,상기 기판의 직경(Dsub) : 상기 제1이격거리(d1)는 1:0
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제9항에 있어서,상기 제2이격거리(d2) : 상기 상부노즐과 상기 하부노즐의 사이거리(d1-d2)는 1: 0
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11
제2항에 있어서,상기 열원은 상기 상부노즐의 배열방향으로 연장된, 개시제를 이용한 화학기상증착장치
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제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항의 개시제를 이용한 화학기상증착장치를 통해 기상의 유기단량체 및 개시제와, 기상의 금속 전구체를 상기 기판에 공급하여 유무기 하이브리드 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 유무기 하이브리드 박막의 제조방법
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관계식 1을 만족하는 유무기 하이브리드 박막
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제13항에 있어서,상기 유무기 하이브리드 박막의 무기성분은 알루니늄, 하프늄, 지르코늄, 티타늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 또는 둘 이상인, 유무기 하이브리드 박막
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제13항에 있어서, 30㎚이하의 평균 두께를 가지는, 유무기 하이브리드 박막
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제13항에 있어서,화학기상증착법에 의해 증착된, 유무기 하이브리드 박막
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