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광가교를 이용한 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법 및 반도체 나노판상구조체

  • 기술번호 : KST2022008498
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시예에 따르면, 감응성 유/무기 분자를 사용하여 나노판상구조체 박막에서 광활성 리간드 또는 광가교제를 첨가하여 원하는 부분만을 광가교하여 패터닝할 수 있다. 모양과 발광파장 조절이 가능한 비등방성 반도체 나노판상구조체를 발광체로 사용하여 패터닝하며, 좁은 반치폭, 광학적 이방성, 우수한 광방출 효율(out-coupling efficiency)로 우수한 전계발광소자 구현 가능하다. 미세 화소 구현이 가능하고 균일한 패턴 형성이 가능하며 산업계에서 널리 사용되는 광리소그래피 기술을 기반으로 하여 공정이 용이하다.
Int. CL H01L 27/15 (2006.01.01) H01L 33/04 (2010.01.01) H01L 33/00 (2010.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210172863 (2021.12.06)
출원인 한국과학기술원, 서강대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0083608 (2022.06.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200171939   |   2020.12.10
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.12.06)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이도창 대전광역시 유성구
2 강문성 서울특별시 마포구
3 조현진 대전광역시 유성구
4 윤다은 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2021-1410803-48
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번호 청구항
1 1
비등방성을 갖는 반도체 나노판상구조체(semiconductor nanoplatelets)를 준비하는 단계,아지드 기를 포함하는 광가교제를 준비하는 단계,상기 광가교제 및 상기 나노판상구조체를 포함하는 잉크 조성물을 준비하는 단계,기판 상에 상기 잉크 조성물을 도포하여 반도체 나노판상구조체 박막을 형성하는 단계, 그리고 상기 반도체 나노판상구조체 박막에 열 또는 광을 포함하는 에너지원을 가하여, 가교된 반도체 나노판상구조체 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
2 2
제1항에서,상기 광가교제는 하기 화학식 1로 표시되는,[화학식 1]반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
3 3
제1항에서,상기 반도체 나노판상구조체는 코어/쉘 구조를 갖는 것인, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
4 4
제3항에서,상기 반도체 나노판상구조체는 CdSe/CdZnS를 포함하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
5 5
제1항에서,상기 잉크 조성물을 준비하는 단계는, 상기 나노판상구조체를 제1 유기 용매에 분산시킨 용액과, 상기 가교제를 제2 유기 용매에 분산시킨 용액을, 서로 혼합하는 단계를 포함하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
6 6
제5항에서,상기 제1 유기 용매는 옥탄을 포함하며, 상기 제2 유기 용매는 톨루엔을 포함하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
7 7
제1항에서,상기 나노판상구조체에 대한 상기 광가교제의 무게 비율은 3 wt% 내지 15 wt%인, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
8 8
제1항에서,상기 나노판상구조체의 농도는 2 mg/ml 내지 15 mg/ml인, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
9 9
제1항에서,금속 산화물 나노 입자를 상기 기판에 도포한 후, 상기 잉크 조성물을 도포하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
10 10
제9항에서,상기 금속 산화물 나노 입자는 아연 산화물 나노 입자인, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
11 11
제1항에서,상기 가교된 반도체 나노판상구조체 패턴을 형성하는 단계는, 포토마스크를 이용하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
12 12
제11항에서,상기 가교된 반도체 나노판상구조체 패턴을 형성하는 단계는, 세척액을 이용하여 세척함으로써, 광가교되지 않은 부분을 제거하는 단계를 포함하는, 반도체 나노판상구조체의 패터닝 방법
13 13
기판, 그리고상기 기판 위에 위치하고, 아지드 기를 포함하는 광가교제에 의해 가교되어 있고, 비등방성을 갖는 반도체 나노판상구조체 패턴을 포함하는, 반도체 나노판상구조체
14 14
제13항에서,상기 광가교제는 하기 화학식 1로 표시되는,[화학식 1]반도체 나노판상구조체
15 15
제13항에서,상기 반도체 나노판상구조체는 CdSe/CdZnS를 포함하는, 반도체 나노판상구조체
16 16
제13항에서,상기 기판과 상기 반도체 나노판상구조체 패턴의 사이에 금속 산화물 나노 입자를 포함하는 금속 산화물 나노 입자층이 위치하는, 반도체 나노판상구조체
17 17
제16항에서,상기 금속 산화물 나노 입자는 아연 산화물 나노 입자인, 반도체 나노판상구조체
18 18
기판,상기 기판 위에 위치하는 한 쌍의 전극, 그리고상기 기판 위에 위치하고, 아지드 기를 포함하는 광가교제에 의해 가교되어 있고, 비등방성을 갖는 반도체 나노판상구조체 패턴을 포함하는, 전계발광소자
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 (N01210597)(통합EZ)양자점 기반 광발광 및 전계발광 디스플레이 응용을 위한 패터닝 공정 개발(2021년도)
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 (N01210090)(통합EZ)편광판이 필요없는 초박막 디스플레이용 양자막대 복합체 개발(2021년도)
3 과학기술정보통신부 한국과학기술원 나노 및 소재 기술개발사업 (N01210844)(통합EZ)전계발광용 신규조성 나노광소재 합성 및 소자 평가(2021년도)