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하부 전극;상기 하부 전극 상에 배치되는 강유전물질층; 및상기 강유전물질층 상에 배치되되 상기 하부 전극과 대향되며, 외부 진동에 의해 두께 방향으로 변위가 발생되는 플렉서블 소재의 상부 전극을 포함하는 에너지 수확 모듈
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제1항에 있어서,상기 상부 전극은 금속 포일, 또는 금속 산화물 전극을 포함하는 에너지 수확 모듈
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제2항에 있어서,상기 금속 포일은 알루미늄, 금, 은, 백금, 구리 중 어느 하나인 에너지 수확 모듈
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제2항에 있어서,상기 금속 산화물 전극은 ITO를 포함하는 에너지 수확 모듈
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제1항에 있어서,상기 강유전물질층 상에 배치되는 마찰대전물질층을 더 포함하는 에너지 수확 모듈
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제5항에 있어서,상기 상부 전극은 상기 마찰대전물질층과 국부적으로 접촉 또는 비접촉되는 영역을 갖는 에너지 수확 모듈
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7
제5항에 있어서,상기 하부 전극과 상기 상부 전극의 사이에 배치되는 스페이서를 더 포함하는 에너지 수확 모듈
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제7항에 있어서,상기 상부 전극은 가장자리가 상기 스페이서와 결합되는 에너지 수확 모듈
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제8항에 있어서,상기 강유전물질층 및 상기 마찰대전물질층은 상기 하부 전극보다 작은 크기로 형성되고, 상기 스페이서는 상기 강유전물질층 및 상기 마찰대전물질층의 가장자리를 감싸는 형태로 배치되는 에너지 수확 모듈
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제1항에 있어서,PDMS(Polydimethylsiloxane), 폴리이미드(Polyimide), 페릴린(Parylene) 중 어느 하나로 형성되며, 상기 하부 전극, 상기 강유전물질층, 상기 상부 전극을 커버하는 패키징 코팅층을 더 포함하는 전기 에너지 수확 모듈
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제1항에 있어서,상기 강유전물질층은,Pb 계열의 페로브스카이트 (Perovskite) 구조를 갖는 강유전 세라믹, 무연 강유전 세라믹, 압전 폴리머 중 어느 하나로 형성되는 에너지 수확 모듈
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제11항에 있어서,상기 강유전 세라믹은 단결정 방향이 003c#111003e#, 003c#110003e#, 및 003c#001003e#인 PMN-PT, PMN-PZT 중 어느 하나를 포함하는 에너지 수확 모듈
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제5항에 있어서,상기 마찰대전물질층은 PDMS(Polydimethylsiloxane)나 PTFE(Polytetrafluoroethylene), Kapton, Nylon 중 어느 하나인 에너지 수확 모듈
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제1항 내지 제13항에 따른 에너지 수확 모듈; 및초음파를 발생시키는 초음파 트랜스듀서를 포함하는 에너지 수확 장치
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