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나노포어를 통과하는 시료를 검출하기 위한 나노포어 소자로서,상기 나노포어가 형성된 나노포어 막;상기 나노포어 막의 일측에 구비되며, 시료가 담지된 용액이 수용된 제1 저장소;상기 나노포어 막의 타측에 구비되며, 상기 나노포어를 통과한 시료가 담지되는 용액이 수용된 제2 저장소;상기 제1 저장소와 상기 제2 저장소 내에 각각 구비되며, 시료가 상기 나노포어를 통과하면서 발생하는 전류의 변화가 측정되도록 서로 다른 극성을 갖는 한 쌍의 제1 전극과 제2 전극; 및상기 나노포어 막의 일측면 또는 타측면 중 어느 하나 이상에 결합되되, 나노 플레이크가 서로 이격하여 나노 층상 구조로 배치된 나노 층상 막; 을 포함하며,상기 나노포어를 통과하려는 시료가 상기 나노 층상 막에 형성된 채널을 통과하면서 시료의 속도가 지연되고,상기 나노포어 막과 나노 층상 막 사이에는, 상기 나노 층상 막에 의해 상기 나노포어가 차폐되지 않도록 상기 나노 층상 막의 하측 일부가 빈 공간부를 형성하는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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나노포어를 통과하는 시료를 검출하기 위한 나노포어 소자로서,상기 나노포어가 형성된 나노포어 막;상기 나노포어 막의 일측에 구비되며, 시료가 담지된 용액이 수용된 제1 저장소;상기 나노포어 막의 타측에 구비되며, 상기 나노포어를 통과한 시료가 담지되는 용액이 수용된 제2 저장소;상기 제1 저장소와 상기 제2 저장소 내에 각각 구비되며, 시료가 상기 나노포어를 통과하면서 발생하는 전류의 변화가 측정되도록 서로 다른 극성을 갖는 한 쌍의 제1 전극과 제2 전극; 및상기 나노포어 막의 일측면 또는 타측면 중 어느 하나 이상에 결합되되, 나노 플레이크가 서로 이격하여 나노 층상 구조로 배치된 나노 층상 막; 을 포함하며,상기 나노포어를 통과하려는 시료가 상기 나노 층상 막에 형성된 채널을 통과하면서 시료의 속도가 지연되고,상기 나노포어 막과 나노 층상 막 사이에는, 상기 나노 층상 막에 의해 상기 나노포어가 차폐되지 않도록 기공이 형성된 스페이서막이 배치되는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노포어 막은, SiN3, SiO2, TiO₂또는 HfO₂중 적어도 어느 하나를 포함하는 100nm 이하 두께인 유전체인 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노포어 막은, 단분자 또는 단원자의 물질로 이루어지거나, 이들의 물질들이 복합화된 단층 또는 다층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막은, 층상 구조물의 형성이 가능한 2차원 형태의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막의 두께는 1,000nm 이하인 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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7
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막의 두께는 5nm 내지 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막은, 그래핀, 그래핀옥사이드, h-BN, MoS₂, MoSe₂, WS₂, WSe₂, HfS₂또는 MoTe₂중 적어도 어느 하나를 포함하는 단분자 또는 단원자로 이루어진 플레이크 형태의 막이 포함되어 적층된 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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9
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막의 간격을 조절하는 100nm 이하의 직경이나 층상 두께를 가지는 나노물질이 층간간격조절물질로 채널의 일부에 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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10
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막은, 상기 나노 플레이크를 관통하는 10nm 이상의 지름으로 이루어진 적어도 하나 이상의 나노포어가 나노 플레이크의 길이 방향으로 이격하여 형성된 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제10항에 있어서,상기 각각의 나노 플레이크에 형성된 나노포어는 상하로 서로 연통되거나, 상하로 서로 비일치 되는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제10항에 있어서,상기 나노포어 막에 형성된 나노포어와 상기 나노 플레이크에 형성된 나노포어가 상하로 서로 연통되거나, 상하로 서로 비일치 되는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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13
제11항에 있어서,상기 나노 플레이크의 표면 또는 양끝단부에는 다른 분자로 기능화한 기능기가 형성된 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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14
제10항에 있어서,상기 나노 층상 막의 두께 방향으로 상기 나노 플레이크의 길이 또는 나노 플레이크 간의 간격이 서로 다르게 적층되는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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15
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노포어 막은, h-BN 인 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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삭제
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막은, LDH(layered double hydroxide) 및 clay 중 어느 하나의 층상 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노 층상 막은, 나노포어 위에 관통된 형태의 포어를 형성하면서 층상 형태로 적층되는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 나노포어 막과 나노 층상 막 사이에는, 함께 일렬로 관통된 포어를 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 나노 층상 구조막이 결합된 나노포어 소자
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