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(a) 기판 상에 서로 이격되는 제1전극층과 제2전극층을 배치하는 단계;(b) 상기 제1전극층, 제2전극층이 배치된 기판 상에 절연층을 배치하는 단계; (c) 상기 제1전극층과 제2전극층 사이 영역에 해당하는 절연층에 정렬 홈을 형성하는 단계; 및(d) 상기 기판 상에 마이크로 LED가 포함된 유체를 공급하면서, 상기 제1전극층과 제2전극층에 전기 신호를 인가하고 비균일한 크기의 전기장을 발생시켜 상기 정렬 홈에 마이크로 LED를 정렬하는 단계;를 포함하고,하나의 정렬 홈에 하나의 마이크로 LED를 정렬하는 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계는상기 절연층을 패터닝하여 정렬 홈을 형성하는 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 정렬 홈의 길이는 상기 제1전극층과 제2전극층 사이 영역의 거리보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 정렬 홈의 길이는 상기 마이크로 LED의 길이보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 정렬 홈의 폭은 상기 마이크로 LED의 직경보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 정렬 홈의 폭은 상기 제1전극층과 제2전극층에 전기장을 발생시켜 복수의 마이크로 LED들 사이에서 척력이 발생할 때 하나의 마이크로 LED와 인접한 다른 하나의 마이크로 LED 사이의 간격보다 작은 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서, 상기 정렬 홈에서 전기장의 크기는 상기 정렬 홈이 아닌 영역에서의 전기장의 크기보다 큰 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 정렬 홈 영역에 위치하는 제1전극층과 제2전극층이 서로를 향해 돌출되도록 배치되는 마이크로 LED 정렬 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 LED는 나노와이어 형태, 디스크 형태 또는 큐브 형태인 마이크로 LED 정렬 방법
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(a) 기판 상에 데이터 라인과 게이트 라인이 교차하여 정의되는 복수의 화소 영역마다 트랜지스터를 배치하는 단계;(b) 상기 복수의 화소 영역마다 서로 이격되는 제1전극층과 제2전극층을 배치하는 단계;(c) 상기 제1전극층, 제2전극층이 배치된 기판 상에 절연층을 배치하는 단계; (d) 상기 제1전극층과 제2전극층 사이 영역에 해당하는 상기 절연층에 정렬 홈을 형성하는 단계; 및(e) 상기 기판 상에 마이크로 LED가 포함된 유체를 공급하면서, 상기 제1전극층과 제2전극층에 전기 신호를 인가하고 비균일한 크기의 전기장을 발생시켜 하나의 정렬 홈에 하나의 마이크로 LED를 정렬하는 단계;를 포함하고,하나의 화소 영역마다 하나의 마이크로 LED가 배치되는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 (d) 단계는, 상기 복수의 화소 영역마다 상기 절연층을 패터닝하여 정렬 홈을 형성하는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 (e) 단계는, 복수의 화소 영역마다복수의 LED 중에서 적색 LED가 포함된 유체를 공급하면서, 적색 화소에 연결되는 제1전극층과, 제2전극층에 전기 신호를 인가하여, 적색 화소에 포함되는 정렬 홈에 적색 LED를 배열하며,복수의 LED 중에서 녹색 LED가 포함된 유체를 공급하면서, 녹색 화소에 연결되는 제1전극층과, 제2전극층에 전기 신호를 인가하여, 녹색 화소에 포함되는 정렬 홈에 적색 LED를 배열하며,복수의 LED 중에서 청색 LED가 포함된 유체를 공급하면서, 청색 화소에 연결되는 제1전극층과, 제2전극층에 전기 신호를 인가하여, 청색 화소에 포함되는 정렬 홈에 적색 LED를 배열하는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 제1전극층을 상기 트랜지스터의 소스 전극 또는 드레인 전극에 연결하고,상기 제2전극층은 전원 전압 라인(VDD) 또는 기저 전압 라인(Vss)에 연결되는 마이크로 LED 디스플레이 제조 방법
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