맞춤기술찾기

이전대상기술

정전 용량형 습도센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2023000919
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 습도 센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 하부 전극과 집적화된 패턴을 갖는 복수의 상부 전극 사이에 감습층으로 이루어진 정전 용량형 습도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 정전 용량형 습도 센서는 기판의 절연층상에 형성된 하부전극; 상기 하부 전극상에 도포되어 수분을 흡탈착하기 위한 감습층; 및 상기 감습층상에 형성된 복수의 상부 전극을 포함함에 기술적 특징이 있다. 본 발명의 정전 용량형 습도 센서의 제조방법은 절연층이 형성된 기판상에 하부 금속을 형성하는 단계; 상기 하부 금속상에 감습층을 형성하는 단계; 및 상기 감습층상에 복수의 상부 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다. 습도, 센서, 감습층, 하부전극, 상부전극
Int. CL G01N 27/00 (2006.01) G01N 27/22 (2006.01)
CPC G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01)
출원번호/일자 1020070135890 (2007.12.21)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0951546-0000 (2010.03.31)
공개번호/일자 10-2008-0058286 (2008.06.25) 문서열기
공고번호/일자 (20100409) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020060132158   |   2006.12.21
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.21)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김건년 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 이강열 대한민국 경기 용인시 기흥구
3 홍성민 대한민국 경기 용인시 수지구
4 이대성 대한민국 경기 용인시 기흥구
5 김원효 대한민국 경기 용인시 기흥구
6 신규식 대한민국 서울 강남구
7 박광범 대한민국 경기 용인시 기흥구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)
3 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 (주)멤스칩 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0922672-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0067816-75
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0247197-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0426191-31
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0774095-27
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.12.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0774112-16
8 등록결정서
Decision to grant
2010.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0020985-89
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
절연층이 형성된 기판상에 하부 금속을 형성하는 단계; 상기 하부 금속상에 감습층을 형성하는 단계; 및 상기 감습층상에 복수의 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 상부 전극을 형성하는 단계는, 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층상에 금속층을 형성하는 단계; 상기 금속층을 패터닝하는 단계; 및 상기 금속층을 도금하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 는 정전 용량형 습도 센서의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 하부 금속을 형성하는 단계는, 버퍼층을 형성하는 단계; 및 상기 버퍼층상에 금속을 증착하는 단계 를 포함하는 정전 용량형 습도 센서의 제조방법
8 8
삭제
9 9
제6항에 있어서, 상기 금속층을 패터닝하는 단계는, IDT(빗살 형태로 서로 엇갈려 형성) 패턴을 이용하여 형성하는 정전 용량형 습도 센서의 제조방법
10 10
제6항에 있어서, 상기 상부 전극상에 감습층을 형성하는 단계를 더 포함하는 정전 용량형 습도 센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.