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제1절연막이 형성된 기판상에 증착된 폴리실리콘 내부에 불순물 주입을 하여 형성된 마이크로 히터;
상기 마이크로 히터의 열손실을 감소시키기 위한 폴리실리콘 멤브레인;
상기 마이크로 히터의 양단에 형성되어 전원공급과 온도를 측정하기 위한 전원전극과 온도측정 전극;
상기 마이크로 히터상에 형성된 제2절연막;
상기 제2절연막상에 형성되어 가스를 감지하기 위한 감지물질; 및
상기 감지물질의 물성변화를 측정하기 위한 감지전극을 포함하고, 상기 폴리실리콘 내부의 불순물 주입 깊이는 폴리실리콘 두께 이하로 형성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 마이크로 히터가 형성된 영역의 하부 제1절연막과 기판을 식각하여 형성한 캐비티를 포함하는 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 마이크로 히터는 복수개를 형성하는 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 전원전극과 온도측정 전극은 복수로 형성된 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 감지전극은 상기 마이크로 히터의 구조물 상에 형성되거나, 측면에 형성되는 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 마이크로 히터 또는 감지전극은 IDT 구조인 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 불순물은 POCl3 또는 보론(boron) 및 인(phosphorus) 중 어느 하나인 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 전원전극의 소재는 금 또는 백금인 마이크로 가스센서
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제1항에 있어서,
상기 전원전극은 정전류 전원과 연결된 마이크로 가스센서
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제1절연막이 형성된 기판상에 폴리실리콘을 형성하는 단계;
상기 폴리실리콘에 불순물 주입을 하여 마이크로 히터를 형성하는 단계;
상기 마이크로 히터 양단에 전극을 형성하는 단계;
상기 마이크로 히터의 상부에 제2절연막을 형성하는 단계;
상기 제2절연막 상부에 감지물질을 형성하는 단계; 및
상기 감지물질 상에 감지 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 마이크로 히터를 포함하는 영역 하단에 형성된 상기 제1절연막과 기판을 KOH, TMAH 또는 Deep RIE를 이용하는 식각하여 캐비티를 형성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 가스센서의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 감지물질을 형성하는 단계는,
접촉 프린팅, 나노 임플란팅 및 드롭 디스펜싱 중 어느 하나를 이용하는 마이크로 가스센서의 제조방법
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