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기판을 처리하는 장치에 있어서,기판에 액을 공급하는 액 공급 유닛; 및상기 액 공급 유닛에 제공된 부품에 설치되고, 상기 부품의 내부를 유동하는 상기 액에 포함되는 버블을 감지하는 버블 감지 유닛을 포함하되,상기 버블 감지 유닛은,상기 부품의 외측에서 상기 부품을 향해 초음파를 발진시키는 초음파 발진 부재; 및상기 부품을 통과한 상기 초음파를 수신하는 초음파 감지 부재를 포함하는 기판 처리 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 감지 부재는,상기 부품에 상기 버블이 존재하지 않을 때의 설정 신호와 상기 초음파 발진 부재로부터 발진된 상기 초음파의 신호를 비교하여 상기 버블을 감지하는 기판 처리 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 액 공급 유닛은,기판으로 액을 토출하는 액 공급 노즐;상기 액이 저장되는 탱크; 상기 액 공급 노즐로 공급되는 상기 액에 유동압을 제공하는 펌프; 및상기 탱크로부터 상기 액 공급 노즐로 상기 액이 공급되는 액 공급 라인을 포함하는 기판 처리 장치
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제3항에 있어서,상기 버블 감지 유닛은 상기 액 공급 라인에 설치되는 기판 처리 장치
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제3항에 있어서,상기 버블 감지 유닛은 상기 탱크에 설치되는 기판 처리 장치
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제3항에 있어서,상기 버블 감지 유닛은 상기 액 공급 노즐에 설치되는 기판 처리 장치
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제3항에 있어서,상기 버블 감지 유닛은 상기 펌프에 설치되는 기판 처리 장치
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부품 내에 저장되거나 상기 부품 내부를 흐르는 액에 포함된 버블을 감지하는 버블 감지 방법에 있어서,상기 부품의 외측에서 상기 부품으로 초음파를 발진시키고, 상기 부품을 통과한 상기 초음파를 수신하여 상기 부품 내부에 저장되거나 상기 부품 내부에 흐르는 상기 액에 포함된 상기 버블을 감지하는 버블 감지 방법
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제8항에 있어서,수신된 상기 초음파의 신호와 상기 부품에 상기 버블이 존재하지 않을 때의 설정 신호와 비교하여 상기 버블을 감지하는 버블 감지 방법
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제9항에 있어서,수신된 상기 초음파의 신호가 상기 설정 신호와 비교하여 설정 범위 내에 있는 경우, 상기 부품 내부에 상기 버블이 존재하지 않는 것으로 판단하는 버블 감지 방법
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11
제9항에 있어서,수신된 상기 초음파의 신호가 상기 설정 신호와 비교하여 설정 범위 밖에 있는 경우, 상기 부품 내부에 상기 버블이 존재하는 것으로 판단하는 버블 감지 방법
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