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노즐 바디;상기 노즐 바디 내에서 제 1 방향으로 연장하고, 유체 공급 영역과 상기 유체 공급 영역에 연결된 유체 가속 영역을 포함하는 내부 통로;상기 노즐 바디의 일측 측벽에 배치되고, 상기 유체 공급 영역과 연결되는 제1 세정액 주입 포트;상기 노즐 몸체의 타측 측벽에 배치되고 상기 유체 공급 영역(520)과 연결되는 제2 세정액 주입 포트;상기 노즐 바디 내에 제공되는 가스 공급 블록을 포함하되, 상기 가스 공급 블록은 상기 유체 공급 영역 내에 제공되고, 상기 제 1 방향으로 상기 제 1 및 제 2 세정액 주입 포트들을 넘어 연장하는 가스 공급 튜브를 갖고,상기 유체 공급 영역은 제 1 직경을 갖고, 상기 제 1 세정액 주입 포트는 상기 제 1 직경보다 작은 제 2 직경을 갖고, 상기 유체 가속 영역은 상기 제 1 직경보다 작은 제 3 직경을 갖고, 상기 가스 공급 튜브는 상기 제 2 직경보다 큰 내경을 갖고, 상기 제 1 직경보다 작은 외경을 갖고,상기 가스 공급 튜브의 외경은 상기 제 1 세정액 주입 포트 및 상기 제 2 세정액 주입 포트 사이의 중간 위치에서 최하 위치까지 일정한 세정액 노즐
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제 1 항에 있어서, 상기 가스 공급 튜브의 상기 내경은 상기 제 2 내경의 1
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제 2 항에 있어서, 상기 가스 공급 튜브의 상기 내경이 2
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제 1 항에 있어서, 상기 가스 공급 튜브의 상기 내경은 상기 제 3 내경보다 0
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제 4 항에 있어서, 상기 가스 공급 튜브의 상기 내경이 2
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제 1 항에 있어서, 상기 가스 공급 튜브의 외주면은 상기 제 1 방향으로 평행한 세정액 노즐
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제 1 항에 있어서, 상기 가스 공급 튜브는 상기 유체 공급 영역의 길이보다 작은 길이를 갖는 세정액 노즐
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제 7 항에 있어서, 상기 유체 공급 영역에서 상기 가스 공급 튜브 및 상기 가스 공급 블록의 길이는 10mm 내지 15mm인 세정액 노즐
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제 7 항에 있어서, 상기 유체 공급 영역의 길이는 10mm 내지 30mm인 세정액 노즐
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 내경은 상기 제 2 내경의 1
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