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광스캐너의 설계 방법 및 광스캐너의 스프링

  • 기술번호 : KST2023007474
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 콤전극을 이용한 정전력 광스캐너에서 콤사이의 간격이 좁아지면서 발생하는 방전 문제는 가장 심각한 문제중의 하나이다. 따라서 구동 방향인 미러의 회전 방향 (torsional)을 제외한 다른 공진 모드 주파수는 가능한 높아야 하며, 특히, 요잉 (yawing) 모드는 콤전극 사이의 간격이 좁아지는 방향으로 움직임이 일어나기 때문에 멤스 광스캐너를 설계할 때 가장 주의해야 한다. 본 발명은 멤스 미러의 구동 안정성을 개선하기 위한 스프링 구조에 관한 것으로, 요잉 공진주파수를 일정 값 이상으로 올리기 위한 스프링 구조를 제안하고, 이를 위한 설계방법으로 위상최적화 기법을 도입할 수 있다.
Int. CL G02B 26/08 (2006.01.01) G01S 7/481 (2006.01.01) G01S 17/02 (2020.01.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G01S 7/4811(2013.01) G01S 7/4817(2013.01) G01S 17/02(2013.01)
출원번호/일자 1020230017200 (2023.02.09)
출원인 광주과학기술원, 주식회사 위멤스
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0128971 (2023.09.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020220026285   |   2022.02.28
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2023.02.09)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
2 주식회사 위멤스 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 광주광역시 북구
2 김현국 광주광역시 북구
3 김신호 전라남도 장성군
4 정도현 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인위더피플 대한민국 서울특별시 서대문구 경기대로 **, 진양빌딩 *층(충정로*가)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2023.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2023-0151451-62
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번호 청구항
1 1
광스캐너의 설계 방법으로서,최적화 기준 모델을 설정하는 단계;최적화 문제를 정의하는 단계;최적화 초기 모델을 설정하는 단계;최적화 계산을 수행하여 최적화 가상 모델을 도출하는 단계; 및가상 모델에 대한 후처리를 통하여 제작 가능한 최적화 최종 모델을 결정하는 단계;를 포함하는 광스캐너 설계 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 최적화 문제를 정의하는 단계에서, 광스캐너의 요잉 공진주파수의 최대화를 최적화의 목적 함수로 설정하는 광스캐너 설계 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 최적화 문제를 정의하는 단계에서,광스캐너 미러의 회전방향 공진주파수를 설정된 값의 특정 오차범위 이내로 한정하는 조건을 부가하는 광스캐너 설계 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 최적화 문제를 정의하는 단계에서, 길이방향 또는 옆방향의 공진주파수를 기준값 이상으로 설정하는 조건을 부가하는 광스캐너 설계 방법
5 5
제1항에 있어서 상기 최적화 문제를 정의하는 단계에서, 규격으로 설정된 구동각에서 최대 응력이 특정값 이하가 되도록 한정하는 조건을 부가하는 광스캐너 설계 방법
6 6
제1항에 있어서 상기 최적화 문제를 정의하는 단계에서, 상기 최적화 기준 모델 대비 최적화된 모델의 체적 비율을 특정값 범위 이내로 한정하는 조건을 부가하는 광스캐너 설계 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 체적 비율을 0
8 8
제1항에 있어서,상기 가상 모델에 대한 후처리 과정은 위상 최적화의 밀도 변수가 특정 임계치를 기준으로 그 이상이면 그 구조를 유지하고 그 미만이면 구조가 없는 것으로 변경하는, 광스캐너 설계 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 가상 모델에 대한 후처리 과정에서, 최대 응력이 발생할 수 있는 영역에 라운딩 구조를 추가하는 광스캐너 설계 방법
10 10
제1항 또는 제8항에 있어서,상기 가상 모델에 대한 후처리 과정에서 위상 최적화의 밀도 변수의 설정값을 0
11 11
구동전압에 의해 회전하면서 빛을 반사하는 미러(111)와, 움직이지 않고 고정된 앵커(121)를 서로 연결하는 광스캐너의 스프링(130)으로서,상기 미러(111)에 연결되며 상기 미러(111)를 향해 발산하는 형태의 V자 형상의 제1단부 영역(S1);상기 앵커(121)에 연결되며 상기 앵커(121)를 향해 발산하는 형태의 V자 형상의 제2단부 영역(S2);상기 제1단부 영역(S1)과 상기 제2단부 영역(S2) 사이에 위치하여 상기 제1단부 영역(S1) 및 상기 제2단부 영역(S2)과 연결되며 상기 미러(111) 및 상기 앵커(121)를 향하는 방향으로 연장되는 I자 형상의 연결부(S3);를 포함하는 광스캐너의 스프링
12 12
제11항에 있어서,상기 제1단부 영역(S1)은 상기 미러(111)를 향해 발산하면서 서로 벌어지는 한 쌍의 제1 가지부(131)를 포함하는, 광스캐너의 스프링
13 13
제12항에 있어서상기 한 쌍의 제1 가지부(131)와 상기 미러(111) 사이에 빈 공간인 제1 캐비티(C1)가 형성된, 광스캐너의 스프링
14 14
제11항에 있어서,상기 제2단부 영역(S2)은 상기 앵커(121)를 향해 발산하면서 서로 벌어지는 한 쌍의 제2 가지부(132)를 포함하는, 광스캐너의 스프링
15 15
제14항에 있어서상기 한 쌍의 제2 가지부(132)와 상기 앵커(121) 사이에 빈 공간인 제2 캐비티(C2)가 형성된, 광스캐너의 스프링
16 16
제15항에 있어서상기 한 쌍의 제2 가지부(132) 각각으로부터 상기 앵커(121)를 향해 작은 경사각을 가지면서 연장되는 한 쌍의 직선부(134)를 포함하는, 광스캐너의 스프링
17 17
제16항에 있어서상기 한 쌍의 제2 가지부(132), 상기 한 쌍의 직선부(134), 및 상기 앵커(121)로 둘러싸인 영역에 X자 형태의 내부 보강부(130a)를 포함하는, 광스캐너의 스프링
18 18
제17항에 있어서상기 내부 보강부(130a)는 상기 제2 캐비티(C2)와 상기 앵커(121) 사이에 형성된, 광스캐너의 스프링
19 19
제18항에 있어서상기 내부 보강부(130a)와 상기 앵커(121) 사이에 빈 공간인 제3 캐비티(C3)가 형성된, 광스캐너의 스프링
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.