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기판 상에 배치된 제1 절연막과 상기 제1 절연막 내에 위치하는 제1 배선;상기 제1 배선 상에 위치하는 제2 절연막 및 상기 제2 절연막 내에 위치하고 상기 제1 배선과 접촉하는 제2 배선을 포함하되,상기 제1 배선은 상기 제2 배선 하부에 적어도 하나의 이방성 식각부와 적어도 하나의 등방성 식각부를 구비하는 트렌치를 포함하고, 상기 제2 배선은 상기 트렌치를 채우는 연장부를 포함하는 다층 배선 연결 구조
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청구항 1에 있어서,상기 트렌치는 최상단에 상기 등방성 식각부를 구비하고, 상기 등방성 식각부의 하부에 이방성 식각부를 구비하는 다층 배선 연결 구조
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청구항 1에 있어서,상기 트렌치는 상기 이방성 식각부와 상기 등방성 식각부 중 하나 이상을 복수개 포함하고, 상기 이방성 식각부와 상기 등방성 식각부는 교호적으로 배치된 다층 배선 연결 구조
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청구항 3에 있어서,상기 트렌치는 상기 이방성 식각부를 1 내지 4개 그리고, 상기 등방성 식각부를 1 내지 4개 포함하는 다층 배선 연결 구조
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기판 상에 제1 절연막과 상기 제1 절연막 내에 위치하는 제1 배선을 형성하는 단계;상기 제1 배선을 식각하여 상기 제1 배선 내에 적어도 하나의 이방성 식각부와 적어도 하나의 등방성 식각부를 구비하는 트렌치를 형성하는 단계; 및상기 제1 배선 상에 제2 배선을 형성하는 단계를 포함하되,상기 제2 배선은 상기 트렌치를 채우는 연장부를 구비하는 다층 배선 연결 구조 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 트렌치는 상기 제1 배선의 상부에 상기 제1 배선의 일부를 노출시키는 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 상기 제1 배선을 식각하여 형성하는 다층 배선 연결 구조 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 제1 배선을 식각할 때, 등방성 식각을 수행하여 상기 등방성 식각부를 형성한 후, 상기 등방성 식각부의 바닥면을 이방성 식각하여 상기 이방성 식각부를 형성하는 다층 배선 연결 구조 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 제1 배선을 식각할 때, 등방성 식각과 이방성 식각을 교호적으로 수행하여 상기 이방성 식각부와 상기 등방성 식각부를 교호적으로 형성하는 다층 배선 연결 구조 제조방법
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