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엣지 밀링된 자성체 와이어 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2023010483
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시예에 따른 자성체 와이어를 제작하는 방법은 자구벽 운동을 측정하고자 하는 조성의 자성체 필름을 실리콘 기판 위에 증착하고, 일정 규격의 와이어 패턴 및 전극 패턴을 사용하여 자성체 필름이 증착된 실리콘 기판에 자성체 와이어를 형성하고, 자성체 와이어의 중심부를 일정 규격에 대응하는 엣지 밀링 패턴에 의해 포토리소그래피 방식으로 쉴딩하며, 이온 밀링에 의해 쉴딩되지 않은 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭할 수 있다.
Int. CL G11B 5/64 (2006.01.01) C23C 14/16 (2006.01.01) C23C 14/35 (2006.01.01) C23C 14/04 (2006.01.01)
CPC G11B 5/642(2013.01) C23C 14/165(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/042(2013.01)
출원번호/일자 1020220059166 (2022.05.13)
출원인 삼성전자주식회사, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0159157 (2023.11.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최석봉 서울특별시 서초구
2 김명회 서울특별시 관악구
3 남윤석 서울특별시 관악구
4 문준 경기도 시흥시 서울대학로
5 이성협 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2022-0511453-63
2 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.08.11 수리 (Accepted) 4-1-2022-5189083-38
3 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.10.07 수리 (Accepted) 4-1-2022-5235636-01
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번호 청구항
1 1
자구벽(magnetic domain wall) 운동을 측정하고자 하는 조성의 자성체 필름을 실리콘 기판 위에 증착하는 단계;일정 규격의 와이어 패턴 및 전극 패턴을 사용하여 상기 자성체 필름이 증착된 실리콘 기판에 자성체 와이어(magnetic wire)를 형성하는 단계;상기 자성체 와이어의 중심부를 상기 일정 규격에 대응하는 엣지 밀링 패턴(edge milling pattern)에 의해 포토리소그래피(photolithography) 방식으로 쉴딩(shielding)하는 단계; 및 이온 밀링(ion-milling)에 의해 상기 쉴딩되지 않은 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭하는 단계는상기 자성체 와이어의 엣지 부분에 전류가 흐르되, 상기 엣지 부분의 자성층이 자성을 띄지 않는 두께까지 상기 엣지 부분을 절삭하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭하는 단계는상기 자성체 와이어의 엣지 부분에 대한 P-MOKE(Magneto-Optical Kerr Effect)를 측정하는 단계; 및 상기 P-MOKE의 측정 결과를 이용하여, 상기 자성체 와이어의 엣지 부분에 전류는 흐르되, 상기 엣지 부분의 자성층이 자성을 띄지 않는 두께까지 상기 엣지 부분을 절삭하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭하는 단계는 상기 엣지 부분의 자성층을, 상기 자성체 와이어의 전체 폭 대비 0
5 5
제1항에 있어서, 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭하는 단계는상기 자성체 와이어의 전체 폭(W) 대비 1/4의 폭 비율로 상기 자성체 와이어의 양단의 상기 엣지 부분을 각각 절삭하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 절삭하는 단계는아르곤(Ar) 이온 빔 에칭(etching)을 통해 상기 자성체 와이어의 엣지 부분을 자성층까지 에칭하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 자성체 필름은 수직 자화 상태를 가지는 수직 자기 이방성의 자성체 필름을 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 자성체 필름을 상기 실리콘 기판 위에 증착하는 단계는DC 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)을 이용하여 상기 자성체 필름을 상기 실리콘 기판 위에 증착하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 자성체 와이어를 형성하는 단계는 상기 포토리소그래피를 통해, 상기 자성체 와이어의 폭(W)보다 넓은 폭을 가진 상기 와이어 패턴 및 상기 전극 패턴을 상기 자성체 필름이 증착된 실리콘 기판에 증착(deposition)하는 단계를 포함하는, 자성체 와이어를 제작하는 방법
10 10
자성체 와이어에 있어서, 상기 자성체 와이어에 인가되는 전류에 의해 발생하는 외스테르 필드로 인해 상기 자성체 와이어의 자구벽이 기울어지지 않도록 상기 자성체 와이어의 전체 폭 대비 일정 폭 비율로 절삭된 양 단의 엣지 부분을 포함하는, 자성체 와이어
11 11
제10항에 있어서, 상기 일정 폭 비율은 상기 자성체 와이어의 전체 폭 대비 1/4의 폭 비율을 포함하는, 자성체 와이어
12 12
제10항에 있어서,상기 엣지 부분은 상기 엣지 부분에 상기 전류는 흐르되 상기 엣지 부분의 자성층이 자성을 띄지 않는 두께까지 절삭되는, 자성체 와이어
13 13
제10항에 있어서, 상기 엣지 부분의 자성층은 상기 자성체 와이어의 전체 폭 대비0
14 14
제10항에 있어서, 상기 자성체 와이어는 아르곤(Ar) 이온 빔 에칭(etching)을 통해 상기 엣지 부분의 자성층까지 에칭되는, 자성체 와이어
15 15
제10항에 있어서, 상기 엣지 부분은 상기 엣지 부분에 대한 P-MOKE의 측정 결과를 기초로, 상기 엣지 부분에 상기 전류는 흐르되, 상기 엣지 부분의 자성층이 자성을 띄지 않는 두께까지 절삭되고,상기 자성체 와이어의 중심부는 일정 규격에 대응하는 엣지 밀링 패턴에 의해 포토리소그래피 방식으로 쉴딩되는, 자성체 와이어
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.