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측단면이 소정의 쐐기각(α)을 갖고, 입사된 빛을 반사시킬 수 있는 쐐기판(24); 상기 쐐기판(24)의 일측에 위치하여 상기 쐐기판(24)을 일방향으로 이송시키수 있는 이송수단; 및 상기 쐐기판(24)의 일측에 위치하여 광원(20)으로부터 입사된 빛을 상기 쐐기판(24)을 향해 평행하게 조사하는 렌즈수단(22)을 포함하거나 상기 쐐기판(24)의 일측에서 시준된 측정빔이 입사하는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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제 1 항에 있어서, 상기 쐐기각(α)은 5”~ 30”범위인 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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3
제 1 항에 있어서, 상기 이송수단은 상기 쐐기판(24)을 수 mm ~ 십수 mm 범위내에서 이송시키는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 이송수단은 상기 쐐기판(24)을 단면 길이방향으로 왕복 이송시키는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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제 1 항에 있어서, 상기 광원(20)은 레이져인 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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제 1 항에 있어서, 상기 렌즈수단(22)은 볼록렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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제 1 항에 있어서, 상기 쐐기판(24)은 용융 실리카를 포함하는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계
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8
측단면이 소정의 쐐기각(α)을 갖는 쐐기판(24)에 빛을 입사각(θ)로 입사시키는 단계; 상기 쐐기판(24)으로부터 반사된 빛으로부터 가로 층밀림량(S0)를 결정하는 단계; 상기 가로 층밀림량(S0)에 기초하여 광로차 ΔWo(x,y)를 산출하는 단계; 상기 쐐기판(24)에 연결된 이송수단을 이용하여 상기 쐐기판(24)을 쐐기판의 기울기방향(ρ방향)으로 소정거리(ρo)만큼 이송시키는 단계; 상기 쐐기판(24)으로부터 반사된 빛으로부터 광로차 ΔW1(x,y)를 산출하는 단계;로 구성되는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계의 측정방법
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제 8 항에 있어서, 상기 광로차 ΔW1(x,y)에 해당하는 위상이동량(φPS)은 에 의해 결정되고, 여기서, n은 굴절율, ρ는 이송거리, θ는 입사각, α는 쐐기판의 쐐기각, θ'는 굴절각이고, β는 에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계의 측정방법
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제 8 항에 있어서, 상기 이송거리(ρ)는 에 의해 결정되고, 여기서, λ은 파장, n은 굴절율, θ는 입사각, α는 쐐기판의 쐐기각인 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계의 측정방법
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제 8 항에 있어서, 상기 이송거리(ρ)는 에 의해 결정되고, 여기서, λ은 파장, n은 굴절율, θ는 입사각, α는 쐐기판의 쐐기각인 것을 특징으로 하는 쐐기판의 이송을 이용한 가로 층밀리기 간섭계의 측정방법
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