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박막이 코팅된 측정물의 박막의 두께정보와 박막의 표면형상정보를 획득하는 방법에 있어서,백색광을 임의 방향의 편광광으로 만든 후 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 제1단계;수평편광광(혹은 수직편광광)을 박막이 코팅된 측정물에 입사시키고, 수직평광광(혹은 수평편광광)은 기준면에 입사시키는 제2단계;측정물에 입사된 광이 박막의 상층부와 하층부에서 반사되면서 간섭되어 간섭광을 생성시키는 제3단계;기준면에 입사된 광을 반사시켜 반사광을 얻고 상기 제3단계의 간섭광과 합쳐 합성간섭광을 생성시키는 제4단계;상기 제3단계의 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 간섭무늬를 획득하는 제5단계;상기 제4단계의 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 간섭무늬를 획득하는 제6단계;상기 제5단계의 주파수별 간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 상기 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득하는 제7단계;상기 제6단계의 주파수별 간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득하는 제8단계; 및상기 제7단계에서 획득한 박막두께정보를 이용해 상기 제8단계에서 획득한 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보만을 획득하는 제9단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 방법
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박막이 코팅된 측정물의 박막의 두께정보와 박막의 표면형상정보를 획득하는 방법에 있어서,백색광을 출사하는 광원을 광분할기를 적용하여 2개로 분할하는 제1단계;상기 제1단계에서 분할된 2개의 백색광 중 하나의 백색광을 박막을 입힌 측정물에 입사시킨 후 박막의 상층부와 박막의 하층부에서 반사되는 광으로 간섭광을 획득하는 제2단계;상기 제1단계에서 분할된 2개의 백색광 중 나머지 하나의 백색광을 기준면에 입사시킨 후 반사시켜 반사광을 획득하는 제3단계;상기 제2단계의 간섭광과 제3단계의 반사광을 합쳐 합성간섭광을 생성시키는 제4단계;상기 제2단계의 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 간섭무늬를 획득하는 제5단계;상기 제4단계의 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 간섭무늬를 획득하는 제6단계상기 제4단계의 주파수별 간섭무늬로부터 위상을 구하여 박막두께정보만을 획득하는 제7단계;상기 제6단계의 간섭무늬를 통해 위상을 구하여 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보를 획득하는 제8단계; 및상기 제7단계에서 획득한 박막두께정보를 이용해 상기 제8단계에서 획득한 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보만을 획득하는 제9단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 방법
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청구항1 또는 제2항에 있어서, 간섭무늬로부터 위상을 구하는 단계는간섭무늬를 수학식으로 모델링하는 단계(단층 박막의 두께를 측정하는 경우 수학식 6참조, 단층 박막의 형상을 측정하는 경우 수학식 12 참조);간섭무늬에 실려 있는 저주파 성분들을 제거하기 위해 고주파 필터링하는 단계;상기 저주파 성분이 제거된 간섭무늬에서 Envelope 성분을 제거하여 박막의 두께와 형상 정보를 담고 있는 위상 값으로만 이루어진 코사인 함수로 정리하는 단계(단층 박막의 두께를 측정하는 경우 수학식 8참조, 단층 박막의 형상을 측정하는 경우 수학식 14참조);상기 정리된 코사인함수를 Fast Fourier Transform하여 양의 주파수 성분만 취한다음, 다시 Inverse Fast Fourier Transform하는 단계;상기 Inverse Fast Fourier Transform한 결과에 자연로그를 취하여 허수부가 바로 위상 값이 되도록 변환시킨 후 상기 위상값을 구하는 단계(단층 박막의 두께를 측정하는 경우 수학식 10참조, 단층 박막의 형상을 측정하는 경우 수학식 16 참조);상기 주파수에 따른 위상값의 기울기와 박막의 굴절률 N으로부터 박막의 두께와 형상을 구하는 단계(수학식 7 및 수학식 17 내지 19 참조);를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 방법
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임의의 박막의 두께와 박막의 표면형상을 측정하는 장치에 있어서백색광을 출사하는 광원과, 백색광을 임의의 방향으로 편광광으로 만드는 편광장치와, 상기 편광광을 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 편광 광분활기로 구성되며, 상기 수평편광광을 박막을 입힌 측정물에 입사시킨 후 박막의 상층부와 박막의 하층부에서 반사되는 광으로 간섭광을 획득하고, 상기 수직편광광을 기준면에 입사시킨 후 반사시켜 반사광을 획득하며, 상기 간섭광의 위상을 구한 후 상기위상으로부터 박막두께정보만을 획득하고, 상기 간섭광과 상기 반사광을 간섭시켜 얻은 합성간섭광으로부터 위상을 구한 후 상기 합성간섭광의 위상으로부터 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보를 획득하며, 상기 간섭광으로 얻는 박막 두께 정보와 합성간섭광으로부터 얻은 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보로부터 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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청구항4에 있어서,상기 간섭광으로부터 위상을 구하기 위하여 상기 간섭광을 주파수별로 분광시켜 분광광을 얻는 회절격자와, 상기 분광광을 획득하는 영상획득부를 구비하며, 상기 분광광을 영상처리와 알고리즘을 적용하여 위상을 구하고, 상기 합성간섭광으로부터 위상을 구하기 위하여 합성간섭광을 얻는 45˚ 편광판과 상기 합성간섭광을 주파수별로 분광시켜 분광광을 얻는 회절격자와 상기 분광광을 획득하는 영상획득부를 구비하며, 상기 합성간섭광으로부터 얻은 분광광을 영상처리와 알고리즘을 적용하여 위상을 획득함으로써, 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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임의의 박막의 두께와 박막의 표면형상을 측정하는 장치에 있어서백색광을 출사하는 광원과, 상기 백색광을 분할하는 광분활기로 구성되며, 상기 광분활기에서 분할된 일부 백색광은 박막을 입힌 측정물에 입사시킨 후 박막의 상층부와 박막의 하층부에서 반사되는 광으로 간섭광을 획득하고, 상기 광분활기에서 분할된 나머지 백색광은 기준면에 입사시킨 후 반사시켜 반사광을 획득하되 반사광을 차단할 수 있는 차단판을 구비하며, 상기 간섭광의 위상을 구하기 위해 상기 차단판을 작동시켜 반사광을 차단한 후 간섭광으로부터 위상을 구하여 박막두께정보만을 획득하고, 상기 차단판을 제거하여 상기 간섭광과 상기 반사광을 간섭시켜 얻은 합성간섭광으로부터 위상을 구한 후 상기 합성간섭광의 위상으로부터 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보를 획득하며, 상기 간섭광으로 얻는 박막 두께 정보와 합성간섭광으로부터 얻은 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보로부터 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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청구항6에 있어서상기 간섭광과 상기 합성간섭광으로부터 위상을 구하기 위하여 주파수별로 분광시켜 분광광을 얻는 회절격자와, 상기 분광광을 획득하는 영상획득부를 구비하며, 상기 분광광을 영상처리와 알고리즘을 적용하여 위상을 획득함으로써, 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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임의의 박막의 두께와 박막의 표면형상을 측정하는 장치에 있어서백색광을 출사하는 광원과, 백색광을 임의의 방향으로 편광광으로 만드는 편광장치와, 상기 편광광을 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 편광 광분활기로 구성되며, 상기 수평편광광을 박막을 입힌 측정물에 입사시킨 후 박막의 상층부와 박막의 하층부에서 반사되는 광으로 간섭광을 획득하고, 상기 수직편광광을 기준면에 입사시킨 후 반사시켜 반사광을 획득하며, 상기 간섭광의 위상을 구하기 위하여 상기 간섭광을 주파수별로 분광시켜 분광광을 얻는 회절격자와, 상기 분광광을 획득하는 영상획득부를 구비하며, 상기 분광광을 영상처리와 알고리즘을 적용하여 위상을 구한 후 상기위상으로부터 박막두께정보만을 획득하고, 상기 간섭광과 상기 반사광을 간섭시켜 얻은 합성간섭광으로부터 위상을 구하기 위하여 합성간섭광을 얻는 45˚편광판과 상기 합성간섭광을 주파수별로 분광시켜 분광광을 얻는 회절격자와 상기 분광광을 획득하는 영상획득부를 구비하며, 상기 합성간섭광으로부터 얻은 분광광을 영상처리와 알고리즘을 적용하여 위상을 구한 후 상기 합성간섭광의 위상으로부터 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보를 획득하며, 상기 간섭광으로 얻는 박막두께 정보와 합성간섭광으로부터 얻은 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보로부터 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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청구항4, 청구항6, 청구항8 중 어느 한 항에 있어서상기 간섭광과 상기 반사광과 상기 합성간섭광을 라인형태로 얻기위해 원통형 렌즈를 사용하며, 상기 라인형태의 간섭광과 상기 라인형태의 합성간섭광으로부터 주파수별 간섭무늬를 얻기위해 원통형 렌즈를 사용하여 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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임의의 박막의 두께와 박막의 표면형상을 측정하는 장치에 있어서백색광을 출사하는 광원과, 백색광을 임의의 방향으로 편광광으로 만드는 편광장치와, 상기 편광광을 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 편광 광분할기와, 광축방향으로 상기 박막의 측정면을 주사 이동시키기 위한 압전구동기, 및 광경로차에 의한 간섭무늬를 획득하기 위한 CCD로 구성되며, 상기 수평편광광을 박막을 입힌 측정물에 입사시킨 후 박막의 상층부와 박막의 하층부에서 반사되는 광으로 간섭광을 획득하고, 상기 수직편광광을 기준면에 입사시킨 후 반사시켜 반사광을 획득하며, 상기 간섭광의 위상을 구한 후 상기위상으로부터 박막두께정보만을 획득하고, 상기 간섭광과 상기 반사광을 간섭시켜 얻은 합성간섭광으로부터 위상을 구한 후 상기 합성간섭광의 위상으로부터 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보를 획득하며, 상기 간섭광으로 얻는 박막두께 정보와 합성간섭광으로부터 얻은 박막의 두께정보가 포함된 박막의 표면정보로부터 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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청구항10에 있어서 ,상기 간섭광과 합성간섭광으로부터 하나의 라인에 대한 파장별 광 강도분포를 얻기 위한 이미징분광기를 포함하며, 이미지 분광기에서 얻은 각 라인에 대한 파장별 광 강도분포를 분석하여, 박막의 두께정보와 박막의 표면정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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청구항11에 있어서,상기한 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치는자동초점조절장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치
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