| 1 |
1
절연기판;상기 절연기판상에 형성된 주전극;상기 주전극상에 형성된 절연층;상기 절연층상에 형성되어 상기 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부; 및상기 전하충전부의 상부에, 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 이격되고 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 대향하도록 형성된 유동전극을 포함하는, 정전 구동기
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
절연기판;상기 절연기판상에 형성된 주전극;상기 주전극과 이격되게 상기 절연기판상에 형성되어 상기 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부; 및상기 주전극 및 전하충전부의 상부에, 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 이격되고 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 대향하도록 형성된 형성된 유동전극을 포함하는, 정전 구동기
|
| 5 |
5
제1항 또는 제4항에 있어서,상기 전하충전부의 표면에 형성된 방전방지층을 더 포함하는, 정전 구동기
|
| 6 |
6
제1항 또는 제4항에 있어서,상기 주전극과 상기 유동전극 사이에 구동전압이 인가되고,상기 구동전압에 의한 상기 주전극과 상기 유동전극 사이의 제1 정전기력 및 상기 전하충전부와 상기 유동전극 사이의 제2 정전기력에 의해 상기 유동전극이 위치이동하는, 정전 구동기
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 제1 및 제2 정전기력에 의해 상기 유동전극의 일부가 위치이동하는, 정전 구동기
|
| 8 |
8
제6항에 있어서,상기 제1 및 제2 정전기력은 정전인력이고,상기 유동전극은 상기 주전극 방향으로 위치이동하는, 정전 구동기
|
| 9 |
9
제1항 또는 제4항에 있어서,상기 전하충전부에는 전하가 미리 저장되어 있는, 정전 구동기
|
| 10 |
10
제1항 또는 제4항에 따른 정전 구동기의 구동방법에 있어서,상기 전하충전부에 전하를 충전하는 단계; 및상기 주전극과 상기 유동전극 사이에 구동전압을 인가하는 단계를 포함하는, 정전 구동기의 구동방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 전하를 충전하는 단계는,상기 전하충전부에 전압을 인가하는 단계; 및상기 전하가 충전된 전하충전부를 전기적으로 부유(floating)시키는 단계를 포함하는, 정전 구동기의 구동방법
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 전하를 충전하는 단계는,상기 전하충전부에 전계를 통한 터널링 방법을 이용하여 전하를 충전하는 단계를 포함하는, 정전 구동기의 구동방법
|
| 13 |
13
절연기판;상기 절연기판상에 형성된 주전극;상기 주전극상에 형성된 절연층;상기 절연층상에 형성되어 상기 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부; 및상기 전하충전부의 상부에, 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 이격되고 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 대향하도록 형성된 유동전극을 포함하는, 비휘발성 메모리
|
| 14 |
14
절연기판;상기 절연기판상에 형성된 주전극;상기 주전극상에 형성된 절연층;상기 절연층상에 형성되어 상기 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부; 및상기 전하충전부의 상부에, 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 이격되고 상기 주전극 및 상기 전하충전부와 대향하도록 형성된 유동전극을 포함하는, 논리회로 소자
|
| 15 |
15
절연기판;상기 절연기판상에 서로 이격되어 형성된 주전극 및 접점전극;상기 주전극상에 형성된 절연층;상기 절연층상에 형성되어 상기 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부;상기 주전극, 전하충전부 및 접점전극 상부에 형성된 유동전극; 및상기 유동전극을 상기 절연기판상에 지지하는 지지부를 포함하는, 스위치
|
| 16 |
16
절연기판;상기 절연기판상에 서로 이격되어 형성된 주전극 및 접점전극;상기 주전극 및 상기 접점전극과 이격되게 상기 절연기판상에 형성되어 상기 주전극 및 상기 접점전극과 전기적으로 절연된 전하충전부;상기 주전극, 접점전극 및 전하충전부의 상부에, 상기 주전극, 접점전극 및 상기 전하충전부와 이격되고 상기 주전극, 접점전극 및 상기 전하충전부와 대향하도록 형성된 형성된 유동전극; 및상기 유동전극을 상기 절연기판상에 지지하는 지지부를 포함하는, 스위치
|
| 17 |
17
제15항 또는 제16항에 있어서,상기 주전극과 상기 유동전극 사이에 구동전압이 인가되고,상기 구동전압에 의한 상기 주전극과 상기 유동전극 사이의 제1 정전기력 및 상기 전하충전부와 상기 유동전극 사이의 제2 정전기력에 의해 상기 유동전극이 위치이동하여 상기 유동전극이 상기 접점전극과 접촉하는, 스위치
|
| 18 |
18
제17항에 있어서,상기 유동전극의 상기 접점전극과 접촉하는 부위에 형성된 딤플부를 더 포함하는, 스위치
|
| 19 |
19
제15항 또는 제16항에 있어서,상기 전하충전부의 표면에 형성된 방전방지층을 더 포함하는, 스위치
|
| 20 |
20
제15항 또는 제16항에 있어서,상기 전하충전부에는 전하가 미리 저장되어 있는, 스위치
|
| 21 |
21
삭제
|
