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기판상에 서로 이격되어 형성된 주전극 및 접점전극, 상기 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 및 상기 주전극, 상기 전하충전부 및 상기 접점전극 상부에 형성된 유동전극을 포함하는 메모리 셀이 복수 개 배열되고, 상기 복수 개의 메모리 셀의 주전극들과 열 단위로 각각 접속된 복수 개의 비트라인, 상기 복수 개의 메모리 셀의 접점전극들과 열 단위로 각각 접속된 복수 개의 리드라인 및 상기 복수 개의 메모리 셀의 유동전극들과 열 단위로 각각 접속된 복수 개의 워드라인을 포함하는 메모리 어레이를 구동하는 방법에 있어서,
상기 복수 개의 메모리 셀의 전하충전부에 충전전압을 각각 인가하여 전하를 충전하는 단계;
상기 전하가 충전된 전하충전부들을 각각 전기적으로 부유(floating)시키는 단계;
상기 복수 개의 비트라인들 중 선택된 비트라인으로 상기 전하충전부들에 충전된 전압과 동일 극성의 제1 구동전압을 인가하는 단계; 및
상기 복수 개의 워드라인들 중 선택된 워드라인으로 상기 제1 구동전압과 반대 극성의 제2 구동전압을 인가하는 단계;
를 포함하는 메모리 어레이의 구동방법
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제1항에 있어서,
상기 주전극상에 형성된 절연층을 더 포함하고,
상기 전하충전부는 상기 절연층상에 형성된, 메모리 어레이의 구동방법
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3
제1항에 있어서,
상기 전하충전부는 상기 주전극과 이격되어 상기 기판상에 형성된, 메모리 어레이의 구동방법
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4
제1항에 있어서,
상기 기충전된 전하충전부에는 풀인전압과 풀아웃전압 내의 전압이 기충전된, 메모리 어레이의 구동방법
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5
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 메모리 셀 중 선택된 메모리 셀은 상기 제1 구동전압 및 상기 제2 구동전압에 의해 스위치 온되는, 메모리 어레이의 구동방법
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6
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 워드라인들 중 선택된 워드라인으로 테스트 전압을 인가하는 단계; 및
상기 복수 개의 리드라인들 중 선택된 리드라인의 전류흐름 유무를 감지하는 단계;
를 더 포함하는, 메모리 어레이 구동방법
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7
제6항에 있어서,
상기 복수 개의 비트라인들 중 선택된 비트라인으로 상기 제1 구동전압과 반대 극성의 제3 구동전압을 인가하는 단계; 및
상기 복수 개의 워드라인들 중 선택된 워드라인으로 상기 제2 구동전압과 반대 극성의 제4 구동전압을 인가하는 단계;
를 더 포함하는, 메모리 어레이의 구동방법
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8
제7항에 있어서,
상기 제3 구동전압 및 상기 제4 구동전압은 각각 상기 복수 개의 비트라인들 중 선택된 비트라인 및 상기 복수 개의 워드라인들 중 선택된 워드라인으로 동시에 인가되는, 메모리 어레이 구동방법
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제7항에 있어서,
상기 복수 개의 메모리 셀 중 선택된 메모리 셀은 상기 제3 구동전압 및 상기 제4 구동전압에 의해 스위치 오프되는, 메모리 어레이의 구동방법
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