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제1 금속박과 제2 금속박을 각각 제1 챔버에 장입 및 고정하는 단계,
상기 제 1챔버와 상기 제 2챔버의 초기 진공과 고진공을 유도하는 단계,
상기 제1 금속박 및 제2 금속박의 표면에 각각 플라즈마를 조사하여 표면활성화 처리를 수행하는 단계,
상기 제1 금속박 및 제2 금속박을 제2 챔버로 이송하여 플라즈마 처리된 상기 제1 금속박과 상기 제2 금속박의 표면을 서로 접합하여 저압 압연하는 단계, 그리고
플라즈마 처리된 상기 제1 금속박 및 상기 제2 금속박을 가이드롤러에 의해 수냉시키는 단계를 포함하고,
상기 제1 금속박과 상기 제2 금속박이 응력제어장치에 의해 응력 제어가 수행되는 상태로 상기 각 단계가 수행되며,
상기 제1 금속박 및 상기 제2 금속박이 위치제어장치에 의해 에지 포지션(edge position)이 제어되는 상태로 상기 각 단계가 수행되는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제1 항에 있어서,
상기 플라즈마를 조사하는 단계에서, 진공 플라즈마를 이용하는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제2 항에 있어서,
상기 플라즈마를 조사하는 단계에서, 상기 제1 금속박과 상기 제2 금속박을 각각 0
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제2 항에 있어서,
상기 플라즈마를 조사하는 단계에서, 상기 제1 금속박과 상기 제2 금속박을 각각 300 내지 2000 W의 플라즈마 파워로 처리하는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제1 항에 있어서,
상기 진공을 유도하는 단계에서, 상기 제1 챔버는 10-5 내지 10-6 Torr의 진공도를 가지며, 상기 제2 챔버는 10-6 내지 10-7 Torr의 진공도를 갖는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제1 항에 있어서,
상기 저압 압연하는 단계에서, 1 내지 3 %의 압하율을 가하여 압연하는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제1 항에 있어서,
상기 저압 압연하는 단계에서, 1000 내지 3000 kg 이하의 압하하중으로 압연하는 정밀층상복합소재의 제조방법
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9
제1 항에 있어서,
상기 제1 금속박은 Cu 및 Cu 합금계로 이루어지고, 상기 제2 금속박은 Ni계, Al계, Ag계 또는 Au계 합금으로 이루어지는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제1 항에 있어서,
상기 표면활성화 처리를 수행하는 단계에서 200 내지 300sccm의 고순도 아르곤(Ar) 가스를 조사하여 표면활성화 처리가 수행되는 정밀층상복합소재의 제조방법
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제1 항에 있어서,
상기 저압 압연하는 단계에서, 0
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