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잉크젯 프린팅과 플라즈마 표면처리법을 이용한 미세패턴제작방법

  • 기술번호 : KST2014020766
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잉크젯 프린팅과 플라즈마표면처리법을 이용한 미세패턴 제작방법에 관한 것이다. 본 발명의 미세패턴제작방법은 기판을 건식세정하는 단계와, 건식세정된 기판을 소수성 불화유기박막으로 코팅하는 단계와, 코팅된 기판을 가열하는 단계, 및 기판의 가열온도를 유지하면서 액적을 분사하여 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 기판에 미세패턴을 형성함에 있어 액적의 뭉침현상과 고도한 퍼짐현상을 배제하고 미세패턴을 형성할 수 있는 효과를 제공한다. 미세패턴, 불화유기박막코팅
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02274(2013.01) H01L 21/02274(2013.01) H01L 21/02274(2013.01)
출원번호/일자 1020070076253 (2007.07.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0898128-0000 (2009.05.11)
공개번호/일자 10-2009-0012438 (2009.02.04) 문서열기
공고번호/일자 (20090518) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상호 대한민국 서울 관악구
2 강경태 대한민국 서울 서초구
3 강희석 대한민국 경기 용인시 수지구
4 신권용 대한민국 경기 남양주시
5 이경균 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 존스미디어 주식회사 전라북도 군산시 중가도길 ** (오
2 나투라미디어 주식회사 전라북도 군산시 자유무역*길 **(오
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0553571-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0042740-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0443981-03
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0744528-13
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0744512-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
10 등록결정서
Decision to grant
2009.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0060763-63
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0421324-17
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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잉크젯 프린팅을 이용하여 기판에 미세패턴을 제작하기 위한 방법에 있어서, 상기 기판을 건식세정하는 단계; 상기 건식세정된 기판을 소수성 불화유기박막으로 코팅하는 단계; 상기 코팅된 기판을 가열하는 단계; 및 상기 기판의 가열온도를 유지하면서 액적을 분사하여 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 코팅하는 단계는 플라즈마를 발생시켜 화학기상증착법에 의해 수행되고, 상기 기판을 가열하는 단계는 상기 기판의 온도가 60도에서 90도까지가 되도록 가열하며, 상기 액적은 전도성 실버잉크를 사용하고, 상기 미세패턴 형성 단계는 상기 액적을 분사할 때 액적간의 간격은 50마이크로미터이며, 상기 액적의 선폭은 50마이크로미터 내외인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅과 플라즈마 표면처리법을 이용한 미세패턴 제작방법
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제 1항에 있어서, 상기 플라즈마 코팅 단계는 상기 기판의 온도가 100도, 공정시간은 2분, 가스유량은 C4F8 5sccm, 공정압력은 50mtorr, FR 전력은 100w의 조건인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅과 플라즈마 표면처리법을 이용한 미세패턴 제작방법
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제 3항에 있어서, 상기 코팅단계가 완료된 이후의 기판의 접촉각이 90도가 되도록 코팅하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅과 플라즈마 표면처리법을 이용한 미세패턴 제작방법
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제 1항에 있어서, 상기 미세패턴 형성 단계는 상기 기판의 온도를 90도로 유지한 상태에서 액적을 분사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅과 플라즈마 표면처리법을 이용한 미세패턴 제작방법
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8 8
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9 9
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10 10
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