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3차원 측정데이터의 6자유도 정합 방법에 있어서,형상 측정 장치를 이용하여 측정되는 상기 3차원 측정데이터를 획득하는 단계;상기 3차원 측정데이터의 수직진직도(Vertical Straightness), X축에 대한 회전오차(Roll) 및 Y축에 대한 회전오차(Pitch)를 교정하는 1차 교정 단계;상기 3차원 측정데이터의 Z축에 대한 회전오차(Yaw)를 교정하는 2차 교정 단계; 및상기 3차원 측정데이터의 선형위치결정(Linear Positioning) 및 수평진직도(Horizontal Straightness)를 교정하는 3차 교정 단계를 포함하고,상기 2차 교정 단계는,서로 인접한 측정영역이 오버랩되는 영역인 공통영역 내에 포함되는 복수의 추출영역(extraction area) 각각에 대해, 데이터를 추출하고, 추출된 데이터 쌍간의 상호상관함수(cross-correlation)를 이용하여 상기 Z축에 대한 회전오차를 교정하고,상기 복수의 추출영역은,상기 공통영역의 내부에 포함된 서로 다른 위치의 영역으로서, 복수의 추출 영역 간의 거리와 측정영역의 수직 높이에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 1차 교정 단계는,상기 3차원 측정데이터의 인접한 측정영역 사이의 관계를 나타내는 평면 방정식의 계수들을 최소제곱법을 이용하여 산출하여 상기 수직진직도(Vertical Straightness), X축에 대한 회전오차(Roll), Y축에 대한 회전오차(Pitch)를 교정하고,상기 계수들은 각각 상기 X축에 대한 회전오차, 상기 Y축에 대한 회전오차 및 상기 수직진직도에 대응하는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 2차 교정 단계는,상기 상호상관함수의 계수가 최대가 되는 공간지연(spatial delay) 값을 산출하고, 상기 공간지연 값에 대한 벡터들의 각도 차를 이용하여 상기 Z축에 대한 회전오차를 추정함으로써, 상기 Z축에 대한 회전오차를 교정하는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 3차 교정 단계는,서로 인접한 측정영역이 오버랩되는 영역인 공통영역 내에 포함되는 복수의 추출영역(extraction area) 각각에 대해 데이터를 추출하고, 상기 추출된 데이터 쌍간의 상호상관함수(cross-correlation)를 통해 나타나는 공간지연을 이용하여 상기 선형위치결정 및 상기 수평진직도를 추정함으로써, 상기 선형위치결정 및 상기 수평진직도를 교정하고,상기 복수의 추출영역 중 하나의 추출영역은 상기 복수의 추출영역 중 다른 하나의 추출영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 3차원 측정데이터의 오차 범위를 기계적 이송장치(Stage)의 정밀도로 제한시키는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 3차원 측정데이터는, 상기 형상 측정 장치에서 측정되는 측정영역 내의 높이 정보를 기계적 이송장치(stage)를 통해 순차적으로 측정한 복수의 측정데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 3차원 측정데이터의 측정영역의 형태는 사각형 또는 원형을 포함하는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 1차 교정 단계, 상기 제2 교정 단계 및 상기 제3 교정 단계는 측정대상의 형상에 따라 실행 순서가 변경되는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 방법
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3차원 측정데이터의 6자유도 정합 시스템에 있어서,형상 측정 장치를 이용하여 측정되는 상기 3차원 측정데이터를 획득하는 획득부;상기 3차원 측정데이터의 수직진직도(Vertical Straightness), X축에 대한 회전오차(Roll) 및 Y축에 대한 회전오차(Pitch)를 교정하는 1차 교정부;상기 3차원 측정데이터의 Z축에 대한 회전오차(Yaw)를 교정하는 2차 교정부; 및상기 3차원 측정데이터의 선형위치결정(Linear Positioning) 및 수평진직도(Horizontal Straightness)를 교정하는 3차 교정부를 포함하고,상기 2차 교정부는,서로 인접한 측정영역이 오버랩되는 영역인 공통영역 내에 포함되는 복수의 추출영역(extraction area) 각각에 대해, 데이터를 추출하고, 추출된 데이터 쌍간의 상호상관함수(cross-correlation)를 이용하여 상기 Z축에 대한 회전오차를 교정하고,상기 복수의 추출영역은,상기 공통영역의 내부에 포함된 서로 다른 위치의 영역으로서, 복수의 추출 영역 간의 거리와 측정영역의 수직 높이에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 시스템
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삭제
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제10항에 있어서,상기 3차원 측정데이터는, 상기 형상 측정 장치에서 측정되는 측정영역 내의 높이 정보를 기계적 이송장치(stage)를 통해 순차적으로 측정한 복수의 측정데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 시스템
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제10항에 있어서,측정대상의 형상에 따라 상기 1차 교정부, 2차 교정부 및 3차 교정부의 동작 순서가 결정되는 것을 특징으로 하는 6자유도 정합 시스템
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