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복수개의 측정 대상이 존재하는 측정 영역에 대해 측정하여 상기 측정 대상 각각에 대한 삼차원 측정 데이터를 생성하는 단계;상기 삼차원 측정 데이터를 기초로 글로벌 좌표계에서의 각 측정 대상 간에 공통으로 존재하는 공통 영역을 추출하는 단계;상호상관함수를 이용하여 상기 추출된 각각의 공통 영역에 대한 상관 계수를 산출하고 상기 산출된 상관 계수를 기초로 상기 각각의 삼차원 측정 데이터를 교정함으로써 상기 측정 영역으로 상기 측정 대상을 이송하는 스테이지에서 상기 측정 영역에 대해 수평방향으로 발생하는 구동 오차로 인한 상기 측정 대상 간의 부정합을 보정하는 단계;글로벌 최소제곱접합(global least squares fitting)을 이용하여 상기 교정된 삼차원 측정 데이터를 재교정함으로써 상기 측정 영역에 대해 수직방향으로 발생하는 구동오차 및 회전으로 인한 오차를 교정하는 단계; 및, 상기 재교정된 각각의 삼차원 측정 데이터를 정합하여 상기 측정 영역에 대한 삼차원 형상 데이터를 생성하는 단계를 포함하고,라벨링 알고리즘을 이용하여 상기 각각의 삼차원 측정 데이터의 헤더 부분에 라벨링을 수행함으로써 상기 공통 영역의 좌표를 산출하며,상기 부정합을 보정하는 단계는,상기 상호상관함수를 이용하여 각 공통 영역의 공간지연(spatial delay)량 산출을 위한 데이터 라인에 대한 복수개의 상관 계수를 산출하고 상기 산출된 상관 계수로부터 산출된 상기 공간지연량의 평균값을 이용하여 상기 측정 대상을 병진이동시킴으로써 상기 측정 대상 간의 부정합을 보정하는 단계로서,상기 스테이지의 진직도와 구동 정밀도를 기초로 상기 공간지연량의 평균값에 대해 경계값을 설정하고, 상기 평균값이 상기 경계값보다 큰 경우 상기 평균값을 상기 경계값으로 대체하거나 상기 상관 계수의 검출선을 이동하여 상기 상관 계수를 재계산하는 단계를 포함하고,상기 데이터 라인은 상기 측정 영역에 대해 수평방향으로 발생하는 병진오차의 산출을 위해 상기 상호상관함수의 적용에 의한 상기 공간지연량을 산출하기 위한 수평방향의 복수의 데이터 라인과, 상기 측정 영역에 대해 수직방향으로 발생하는 병진오차의 산출을 위해 상기 상호상관함수의 적용에 의한 상기 공간지연량을 산출하기 위한 수직방향의 복수의 데이터 라인으로 구분되는 것을 특징으로 하는 삼차원 측정 데이터의 5 자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 구동 오차는,상기 스테이지가 X축과 Y축으로 구동함으로 인해 발생하는 X축 및 Y축에 대한 병진 오차를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼차원 측정 데이터의 5 자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 삼차원 측정 데이터는,래스터스캔(raster scan)에 의한 삼차원 형상 측정 장치 또는 광학식 삼차원 형상 측정 장치에 의해 상기 측정 대상 간의 공통 영역과 상기 스테이지의 이송량이 계산됨으로써 생성되는 것을 특징으로 하는 삼차원 측정 데이터의 5 자유도 정합 방법
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제1항에 있어서,상기 공통 영역을 추출하는 단계는,상기 측정 대상 각각에 대한 삼차원 측정 데이터에 존재하는 좌표계를 통합하여 상기 각 삼차원 측정 데이터의 좌표계를 글로벌 좌표계로 변환하고 이를 기초로 상기 글로벌 좌표계에서의 각 측정 대상 간 공통 영역을 추출하는 단계인 것을 특징으로 하는 삼차원 측정 데이터의 5 자유도 정합 방법
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복수개의 측정 대상이 존재하는 측정 영역에 대해 측정하여 상기 측정 대상 각각에 대한 삼차원 측정 데이터를 생성하는 삼차원 측정 데이터 생성부;상기 삼차원 측정 데이터를 기초로 글로벌 좌표계에서의 각 측정 대상 간에 공통으로 존재하는 공통 영역을 추출하는 공통 영역 추출부;상호상관함수를 이용하여 상기 추출된 각각의 공통 영역에 대한 상관 계수를 산출하고 상기 산출된 상관 계수를 기초로 상기 각각의 삼차원 측정 데이터를 교정함으로써 상기 측정 영역으로 상기 측정 대상을 이송하는 스테이지의 구동 오차로 인한 상기 측정 대상 간의 부정합을 보정하는 부정합 보정부;글로벌 최소제곱접합(global least squares fitting)을 이용하여 상기 교정된 삼차원 측정 데이터를 재교정함으로써 상기 측정 영역에 대해 수직방향으로 발생하는 구동오차 및 회전으로 인한 오차를 교정하는 삼차원 측정 데이터 교정부; 및 상기 재교정된 각각의 삼차원 측정 데이터를 정합하여 상기 측정 영역에 대한 삼차원 형상 데이터를 생성하는 삼차원 측정 데이터 정합부를 포함하고,라벨링 알고리즘을 이용하여 상기 각각의 삼차원 측정 데이터의 헤더 부분에 라벨링을 수행함으로써 상기 공통 영역의 좌표를 산출하며,상기 부정합 보정부는,상기 상호상관함수를 이용하여 각 공통 영역의 공간지연(spatial delay)량 산출을 위한 데이터 라인에 대한 복수개의 상관 계수를 산출하고 상기 산출된 상관 계수로부터 산출된 상기 공간지연량의 평균값을 이용하여 상기 측정 대상을 병진이동시킴으로써 상기 측정 대상 간의 부정합을 보정하는 것으로,상기 스테이지의 진직도와 구동 정밀도를 기초로 상기 공간지연량의 평균값에 대해 경계값을 설정하고, 상기 평균값이 상기 경계값보다 큰 경우 상기 평균값을 상기 경계값으로 대체하거나 상기 상관 계수의 검출선을 이동하여 상기 상관 계수를 재계산하고,를 포함하고,상기 데이터 라인은 상기 측정 영역에 대해 수평방향으로 발생하는 병진오차의 산출을 위해 상기 상호상관함수의 적용에 의한 상기 공간지연량을 산출하기 위한 수평방향의 복수의 데이터 라인과, 상기 측정 영역에 대해 수직방향으로 발생하는 병진오차의 산출을 위해 상기 상호상관함수의 적용에 의한 상기 공간지연량을 산출하기 위한 수직방향의 복수의 데이터 라인으로 구분되는 것을 특징으로 하는 삼차원 측정 데이터의 5 자유도 정합 시스템
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