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실리콘 기판 상에 중앙층에 실리카 코어층이 위치하고 상기 실리카 코어층보다 굴절률이 낮은 클래드층이 상기 실리카 코어층의 위층과 아래층을 둘러싸는 형태로 형성되며, 입사되는 단일 광파장의 빛을 서로 다른 광경로들을 통해 통과시키는 판형 광도파로; 상기 빛이 진행하는 방향에 따라 일부 영역의 상기 실리카 코어층의 두께를 변조시켜 일정한 주기로 형성된 회절격자들을 포함하여, 상기 빛이 통과하는 서로 다른 광경로들의 각도에 따라 투과중심파장을 변화시키는 회절격자형 광필터; 및 상기 회절격자형 광필터의 서로 다른 광경로들로 투과한 빛들의 진행방향에 대해 횡방향으로 설치된 다수의 개별 광도파로형 광검출기를 포함하여, 상기 회절격자형 광필터를 투과한 각 빛들의 투과중심파장에 따른 광전류를 검출하는 공간분할 광검출기를 포함한 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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청구항2는 삭제 되었습니다
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제1항에 있어서, 상기 회절격자형 광필터는, 상기 회절격자들 사이에 위상천이영역이 삽입된 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제3항에 있어서, 상기 회절격자형 광필터는, 상기 회절격자의 주기 및 위상천이영역의 개수, 길이, 간격에 따라 빛의 투과중심파장과 투과파장대역폭이 가변되는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제1항에 있어서, 상기 공간분할 광검출기의 각 개별 광도파로형 광검출기들은 상호 광학적, 전기적으로 분리된 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제1항에 있어서, 상기 판형 광도파로의 입사면과 출사면은, 빛의 진행방향의 수직면에 대해 경사진 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제1항에 있어서, 상기 공간분할 광검출기는 상기 실리콘기판 상에 플립 칩(flip-chip) 본딩되는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제1항에 있어서, 상기 회절격자형 광필터 상부에 전극 또는 박막열선을 형성하여 상기 판형 광도파로의 유효굴절률을 변화시켜서 상기 회절격자형 광필터의 투과특성을 조정하는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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실리콘 기판 상에 다수 개의 단일 집적 광학형 광파장 감시기구가 공간적으로 병렬로 배치되어 다수 개의 광원으로부터 출력되는 다중 광파장을 동시에 감시하며, 상기 단일 집적 광학형 광파장 감시기구는, 중앙층에 실리카 코어층이 위치하고 상기 실리카 코어층보다 굴절률이 낮은 클래드층이 상기 실리카 코어층의 위층과 아래층을 둘러싸는 형태로 형성되며, 입사되는 단일 광파장의 빛을 서로 다른 광경로들을 통해 통과시키는 판형 광도파로; 상기 빛이 진행하는 방향에 따라 일부 영역의 상기 실리카 코어층의 두께를 변조시켜 일정한 주기로 형성된 회절격자들을 포함하며, 상기 빛이 통과하는 서로 다른 광경로들의 각도에 따라 투과중심파장을 변화시키는 회절격자형 광필터; 및 상기 회절격자형 광필터의 서로 다른 광경로들로 투과한 빛들의 진행방향에 대해 횡방향으로 설치된 다수의 개별 광도파로형 광검출기를 포함하여, 상기 회절격자형 광필터를 투과한 각 빛들의 투과중심파장에 따른 광전류를 검출하는 공간분할 광검출기를 포함한 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 병렬 배치된 다수의 단일 집적 광학형 광파장 감시기구의 판형 광도파로들은 상호 공간적으로 격리되는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 병렬 배치된 다수의 단일 집적 광학형 광파장 감시기구의 판형 광도파로들 사이에 광흡수영역이 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 병렬 배치된 다수의 단일 집적 광학형 광파장 감시기구의 공간분할 광검출기들은 상호 공간적으로 격리되는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 병렬 배치된 다수의 단일 집적 광학형 광파장 감시기구의 공간분할 광검출기들 사이에 광흡수영역이 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 회절격자형 광필터는, 상기 회절격자들 사이에 위상천이영역이 삽입되며, 상기 회절격자의 주기 및 위상천이영역의 개수, 길이, 간격에 따라 빛의 투과중심파장과 투과파장대역폭이 가변되는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 공간분할 광검출기의 각 개별 광도파로형 광검출기들은 상호 광학적, 전기적으로 분리된 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제9항에 있어서, 상기 판형 광도파로의 입사면과 출사면은, 빛의 진행방향의 수직면에 대해 경사진 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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제1항에 있어서, 상기 공간분할 광검출기는 상기 실리콘기판 상에 플립 칩(flip-chip) 본딩되는 것을 특징으로 하는 집적 광학형 광파장 감시기구
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