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능동 광소자와 수동 광소자의 집적 방법 및 그 소자

  • 기술번호 : KST2015079041
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 능동 광소자와 수동 광소자의 집적 방법 및 그 소자에 관한 것으로, 한 기판에 서로 다른 수직 층 구조를 가지면서 다른 형태의 도파로 들이 집적된 능동 광소자와 수동 광소자의 집적 방법에 있어서, 능동 소자의 베리드 리지(buried ridge) 도파로 중심부를 식각할 때 베리드 리지와 연결된 수동 도파로 끝에 스트립 로디드(strip loaded) 형태로 변화시킬 수 있는 테이퍼를 형성하는 단계, 테이퍼를 재성장으로 덮는 단계 및 베리드 리지 도파로의 끝에 있는 테이퍼와 정렬하여 테이퍼로 끝나는 스트립 로디드 형태의 도파로를 식각으로 형성하는 단계를 포함한다. 따라서, 능동 소자에 사용되는 베리드 리지(buried ridge) 도파로와 수동 소자에 사용되는 리지(ridge) 또는 스트립 로디드(strip loaded) 도파로의 제작 공정이 분리되어 집접화된 소자의 제작에서 개별 도파로의 최적화된 제작 공정을 사용할 수 있다. 능동 도파로, 수동 도파로, 집적 소자, 테이퍼
Int. CL G02B 6/12 (2006.01)
CPC G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01)
출원번호/일자 1020020083055 (2002.12.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0471381-0000 (2005.02.01)
공개번호/일자 10-2004-0056554 (2004.07.01) 문서열기
공고번호/일자 (20050310) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송정호 대한민국 제주도제주시
2 백용순 대한민국 대전광역시유성구
3 박정우 대한민국 서울특별시동대문구
4 심은덕 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2002-0426225-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2004-0043791-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0301842-20
5 의견서
Written Opinion		 2004.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0439353-16
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0439350-79
7 등록결정서
Decision to grant		 2005.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0048241-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
한 기판에 서로 다른 수직 층 구조를 가지면서 다른 형태의 도파로 들이 집적된 능동 광소자와 수동 광소자의 집적 방법에 있어서, 능동 소자의 베리드 리지(buried ridge) 도파로 중심부를 식각할 때 상기 베리드 리지와 연결된 수동 도파로 끝에 스트립 로디드(strip loaded) 형태로 변화시킬 수 있는 테이퍼를 형성하는 단계; 상기 테이퍼를 재성장으로 덮는 단계; 및 상기 베리드 리지 도파로의 끝에 있는 테이퍼와 정렬하여 테이퍼로 끝나는 스트립 로디드 형태의 도파로를 식각으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 광소자와 수동 광소자의 집적 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 수동 도파로의 식각 깊이를 도파로 중심층에서 일정하게 하기 위해 상기 수동 도파로 층을 성장할 때 식각 중단층을 삽입하는 것을 특징으로 하는 능동 광소자와 수동 광소자의 집적 방법
3 3
하부 주변층, 중심층 및 상부 주변층으로 이루어진 능동 도파로와, 하부 주변층, 중심층 및 상부 주변층으로 이루어진 수동 도파로를 포함하며, 상기 능동 도파로와 상기 수동 도파로가 동일 기판 상에 형성되고, 상기 능동 도파로의 중심층이 상기 수동 도파로의 중심층과 연결되며, 상기 수동 도파로의 중심층은 일부 영역에서 점점 넓어지는 테이퍼 형태를 가지며, 상기 수동 도파로의 상부 주변층은 일부 영역에서 점점 좁아지는 테이퍼 형태를 가지되, 상기 수동 도파로의 상부 주변층의 테이퍼 영역이 상기 구동 도파로의 중심층의 테이퍼 영역 종단에서 시작되는 것을 특징으로 하는 광소자
4 4
제3 항에 있어서, 상기 능동 도파로는 베리드 리지(buried ridge) 또는 플래너 베리드 이종구조(planar buried heterostructure) 형태의 도파로인 것을 특징으로 하는 광소자
5 5
제3 항에 있어서, 상기 수동 도파로는 스트립 로디드(strip loaded) 또는 리지(ridge) 형태의 도파로인 것을 특징으로 하는 광소자
6 6
제3 항에 있어서, 상기 수동 도파로의 중심층과 상부 주변층 사이에 소정 두께의 식각 중단층이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 광소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.