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패턴화를 요하는 금속박막 위에 규칙적인 다공성 고분자 패턴을 형성하는 단계; 마스크용 금속을 상기 형성된 홀에 선택적으로 증착하는 단계; 선택적으로 고분자층을 제거하는 단계; 및 상기 패턴화를 요하는 금속박막을 식각하는 단계를 포함하는 금속점 정렬의 형성방법
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제 1항에 있어서, 다공성 고분자 패턴의 형성은, 블록공중합체를 패턴화를 요하는 금속 위에 자기조립시키는 단계; 서로 다른 블록들간의 식각에 대한 선택성을 이용해 어느 하나의 블록을 제거하는 단계를 포함하는 금속점 정렬의 형성방법
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제 1항에 있어서, 금속박막은 강자성 물질인 금속점 정렬의 형성방법
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제 3항에 있어서, 강자성 물질은 Co 또는 이를 포함한 합금, FePt, FeO3, FePd, SmCo5, MnAl, FeNdB의 군에서 선택되는 적어도 1종을 포함하는 금속점 정렬의 형성방법
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제 2항에 있어서,블록공중합체는 구형인 금속점 정렬의 형성방법
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제 5항에 있어서, 블록공중합체는 구조내에 적어도 어느 하나의 블록이 아크릴레이트류 또는 주쇄에 이중결합을 가지는 고분자에서 선택되어지는 금속점 정렬의 형성방법
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제 6항에 있어서, 블록공중합체는 폴리스티렌-폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리스티렌-폴리부타디엔, 폴리스티렌-폴리이소프렌, 폴리에틸렌옥사이드-폴리메타메틸아크릴레이트, 폴리스티렌-포리소디움메타아크릴레이트, 폴리스티렌-폴리부틸메타아크릴레이트, 폴리바이닐피리딘-폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리스티렌-폴리아크릴에시드, 폴리스티렌-폴리아크릴에시드에서 적어도 하나 이상 선택되는 금속점 정렬의 형성방법
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제 5항에 있어서, 블록공중합체는 어느 하나의 블록이 금속 또는 세라믹을 포함한 무기물 고분자이며, 다른 하나의 고분자는 유기고분자인 금속점 정렬의 형성방법
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제 1항에 있어서, 마스크용 금속은 Co 또는 이를 포함한 합금, FePt, FeO3, FePd, SmCo5, MnAl, FeNdB, CrTi, CrMn, CrMo, Ti, Pd, Au, Ni, Cr의 군에서 선택되는 적어도 1종인 금속점 정렬의 형성방법
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제 1항에 있어서, 고분자 층은 마스크용 금속이 증착된 패턴에서 이온밀링을 수행한 후, 플라즈마를 처리하여 식각을 수행하여 제거시키는 금속점 정렬의 형성방법
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제 1항에 있어서, 패턴화를 요하는 금속박막의 표면을 플라즈마 처리하는 단계가 더 구비되어지는 금속점 정렬의 형성방법
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제 1항에 있어서, 패턴화를 요하는 금속박막의 표면을 플라즈마 처리하는 단계가 더 구비되어지는 금속점 정렬의 형성방법
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