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산화그래핀을 질소 도핑 및 환원시키는 단계(단계 1);알칼리토금속 및 바이오물질을 함유하는 완충액을 제조하는 단계(단계 2) 및상기 단계 1에서 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀에 상기 단계 2에서 제조한 완충액을 점적하여 바이오물질을 흡착시키는 단계(단계 3)를 포함하는 화학적으로 개질된 그래핀에 바이오물질을 흡착시키는 방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1의 산화그래핀을 질소 도핑 및 환원시키는 방법은 40/60 내지 80/20 sccm H2/NH3 분위기하에서 500-800 ℃로 열처리하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서,상기 단계 2의 알칼리토금속은 마그네슘, 베릴륨 또는 칼슘인 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서,상기 단계 2의 바이오물질은 DNA 오리가미(DNA origami), 효소, 항체, 혈청 알부민, 젤라틴 A, 젤라틴 B, 타우 단백질, 콜라겐 및 카제인으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서,상기 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀에 바이오물질이 흡착하는 것은 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀에 도핑된 질소와 완충액에 포함된 알칼리토금속이 결합하여 양전하를 띠고, 음전하를 띠는 바이오물질이 정전기적 인력에 의해 흡착되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서,상기 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀에 바이오물질이 흡착하는 것은 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀에 도핑된 질소와 상호작용이 가능한 작용기를 갖는 바이오물질과의 화학결합에 의해 흡착되는 것을 특징으로 하는 방법
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기판-산화그래핀층-감광층 순으로 적층된 복합기판을 준비하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 준비한 복합기판을 포토리소그래피(photolithography) 방법으로 감광층을 패턴화하는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 패턴화에 따라 표면에 드러난 산화그래핀층을 제거하는 단계(단계 3);상기 단계 2에서 잔여 감광층을 제거하는 단계(단계 4);상기 단계 4에서 표면에 드러난 산화그래핀층을 질소 도핑 및 환원시키는 단계(단계 5);알칼리토금속 및 바이오물질을 함유하는 완충액을 제조하는 단계(단계 6); 및상기 단계 5에서 제조한 복합기판의 최상층인 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀층에 상기 단계 6에서 제조한 완충액을 점적하여 바이오물질을 흡착시키는 단계(단계 7);를 포함하는 바이오물질이 선택적으로 흡착되고 패턴화된 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀층을 포함하는 복합기판의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 기판은 실리콘웨이퍼, 유리 또는 친수성 고분자필름인 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 기판 상에는 산화그래핀층과의 접착을 위한 접착층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 단계 3의 표면에 드러난 산화그래핀층을 제거하는 방법은 건식-식각, 습식 식각 또는 스탬핑(stamping)인 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 건식-식각은 30/20 내지 45/5 sccm Ar/O2 플라즈마를 사용하는 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 단계 5에서 산화그래핀층을 질소 도핑 및 환원시키는 방법은 40/60 내지 80/20 sccm H2/NH3 분위기하에서 500-800 ℃로 열처리하는 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 바이오물질은 질소 도핑 및 환원된 산화그래핀층에 도핑된 질소와 화학결합 또는 정전기적 인력을 통해 상호작용이 가능한 작용기 또는 전하를 띠는 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 바이오물질은 DNA 오리가미(DNA origami), 효소 및 항체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 단계 6의 알칼리토금속은 마그네슘, 베릴륨 또는 칼슘인 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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기판-산화그래핀층-감광층 순으로 적층된 복합기판을 준비하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 준비한 복합기판을 포토리소그래피(photolithography) 방법으로 감광층을 패턴화하는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 패턴화에 따라 표면에 드러난 산화그래핀층을 제거하는 단계(단계 3);상기 단계 2에서 잔여 감광층을 제거하는 단계(단계 4);알칼리토금속 및 바이오물질을 함유하는 완충액을 제조하는 단계(단계 5); 및상기 단계 4에서 제조한 복합기판의 최상층인 산화그래핀층에 상기 단계 5에서 제조한 완충액을 점적하여 바이오물질을 흡착시키는 단계(단계 6);를 포함하는 바이오물질이 선택적으로 흡착되고 패턴화된 산화그래핀층을 포함하는 복합기판의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 단계 5의 알칼리토금속은 마그네슘, 베릴륨 또는 칼슘인 것을 특징으로 하는 복합기판의 제조방법
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제7항 내지 제17항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되는 복합기판을 이용한 전자회로
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법을 이용하여 제조되는 유연성 전극
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