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기판이 실린 캐리어(100)가 이동하는 다수의 공정 챔버(200)가 일렬로 배치된 기판 처리 시스템에 구성된 기판 이송 장치에 있어서, 상기 챔버(200)의 상부에 구비되어 캐리어(100)의 상부를 이동 가능하게 지지하는 상부이송부(1)와 ; 상기 챔버(200)의 하부에 구비되어 캐리어(100)의 하부를 이동 가능하게 지지하는 하부이송부(2)를 포함하여 구성되고, 상기 상부이송부(1)는 상기 챔버(200) 내부의 상부에 고정된 상부레일(11)에 서로 대향되는 방향으로 굽혀진 걸림턱(111)들의 상면에 고정 설치된 상부고정자석(11a)과 ; 상기 캐리어(100)의 상단에 구비된 이동자(12)의 상단에 바깥쪽을 향해 굽혀진 걸림날개(121)의 하면에 설치되어 상기 상부고정자석(11a)과 대향되어 반발력이 작용하는 상부이동자석(12a)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 하부이송부(2)는 상기 캐리어(100)의 하단을 지지하는 다수의 롤러(21)로 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 2항에 있어서, 상기 롤러(21)들의 외주면은 상기 캐리어(100) 하단과의 접촉면적을 줄이기 위해 호형 또는 첨형으로 돌출됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 3항에 있어서, 상기 캐리어(100) 하단에는 캐리어(100)의 하단이 상기 롤러(21)를 벗어나지 않게 하기 위해 롤러안내홈(101)이 더 형성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 하부이송부(2)는 챔버(200)의 바닥에 고정된 2열로 구비된 하부고정자석(22a)과 ; 상기 캐리어(100)의 하단 양측에 각각 구비되고, 상기 하부고정자석(22a) 사이에 위치되는 하부이동자석(23a)으로 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부이송부(1)에 구성된 걸림턱(111)과 걸림날개(121)의 서로 대향되는 면은 상기 캐리어(100)로부터 바깥쪽을 향하며 위쪽으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 6항에 있어서, 상기 상부이송부(1)에 구성된 상부고정자석(11a)은 2열로 설치되고, 상기 상부고정자석(11a)과 반발 작용을 하는 상부이동자석(12a)은 상기 상부고정자석(11a)들 사이에 위치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 7항에 있어서, 상기 하부고정자석(22a)과, 하부이동자석(23a)은 다수의 영구자석을 적층하여 구성하되 서로 다른 극이 인접하도록 폴-페이싱 타입(ploe-facing type)으로 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 8항에 있어서, 상기 고정자석(11a, 22a)과 이동자석(12a, 23a)들의 사이에는 비자성판(5)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 9항에 있어서, 상기 고정자석(11a, 22a)들은 전자석이고, 상기 이동자석(12a, 23a)은 영구자석임을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 10항에 있어서, 상기 기판 이송장치에는 상기 캐리어(100)의 이동 거리를 측정하기 위한 이동거리 측정수단(4)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 11항에 있어서, 상기 이동거리 측정수단(4)은 상기 캐리어(100) 또는 챔버(200)의 내부에 설치된 바코드리더(41)와 ; 상기 바코드리더(41)와 대향되는 높이의 챔버(200)의 내벽 또는 캐리어(100)의 일측면에 설치된 바코드(42)로 구성됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 12항에 있어서, 상기 상부이송부(1)의 위에는 케리어(100)를 이동시키기 위한 구동수단(3)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 13항에 있어서, 상기 구동수단(3)은 리니어모터(liner motor)임을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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제 14항에 있어서, 상기 캐리어(100)의 하단과 대향되는 부분에는 캐리어(100)의 하단을 당기는 보조자석(23b)이 더 설치됨을 특징으로 하는 자기부상형 기판 이송장치
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