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기판이송장치

  • 기술번호 : KST2015128435
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유리나 합성수지 등의 박판으로 만들어진 큰 면적을 갖는 기판을 이송하되, 기판에 상하 방향으로의 충격이 가해지지 않고 수평으로 이동될 수 있을 뿐만 아니라, 기판이 좌우로 흔들일 경우 이 흔들림을 완충시켜 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있게 한 기판이송장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따른 기판이송장치는 반도체, LCD, PDP 등을 제조함에 사용되는 기판을 이송하는 이송 장치에 있어서, 두 개의 구동롤러(1)와 ; 상기 구동롤러(1)들을 회전시키는 모터(2)와 ; 상기 구동롤러(1)들에 감겨져 구동롤러에 의해 회전하여 기판을 이송하는 이송밸트(3)와 ; 상기 이송밸트(3)의 저면에 설치되어 이송밸트가 작동될 때 상하로 출렁거림을 방지하는 지지가이드(4)를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 기판이송, 이송밸트, 모터, 탄성지지체, 기판지지판, 고정부
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01)
출원번호/일자 1020070111637 (2007.11.02)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0898807-0000 (2009.05.14)
공개번호/일자 10-2009-0045691 (2009.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20090522) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최상규 대한민국 대전 유성구
2 손영수 대한민국 대전 유성구
3 윤동원 대한민국 대전 유성구
4 박희창 대한민국 대전 유성구
5 박철훈 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 정원산업 인천광역시 서구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0790374-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0052900-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0587396-35
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0036861-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0036838-34
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0199967-95
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체, LCD, PDP 등을 제조함에 사용되는 기판을 이송하는 이송 장치에 있어서, 두 개의 구동롤러(1)와 ; 상기 구동롤러(1)들을 회전시키는 모터(2)와 ; 상기 구동롤러(1)들에 감겨져 구동롤러에 의해 회전하여 기판을 이송하는 이송밸트(3)와 ; 상기 이송밸트(3)의 저면에 설치되어 이송밸트가 작동될 때 상하로 출렁거림을 방지하는 지지가이드(4)를 포함하여 구성되고, 상기 이송밸트(3)는 밸트 본체(31)의 길이 방향 중앙의 기판과 대향되는 부분에 탄성지지체(33)에 의해 탄성적으로 지지되도록 기판지지판(32)을 설치하여 기판이 이송밸트의 양 가장자리를 향한 방향으로 움직이는 진동을 흡수할 수 있도록 구성됨을 특징으로 하는 기판이송장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 이송밸트(3)의 이송방향의 중간 부분에는 기판의 하단이 안치되는 기판안치홈(3a)이 더 형성됨을 특징으로 하는 기판이송장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 이송밸트(3)의 양 가장자리에는 이송밸트(3)가 지지가이드(4)의 상부에서 용이하게 이동되게 하기 위한 다수의 이송롤러(5)들이 더 설치됨을 특징으로 하는 기판이송장치
4 4
삭제
5 5
제 3 항에 있어서, 상기 기판지지판(32)은 상기 탄성지지체(33)의 중간부분을 굽혀 기판안치홈(3a)을 형성하여 구성됨을 특징으로 하는 기판이송장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 탄성지지체(33)는 밸트 본체(31)의 바닥에 고정됨을 특징으로 하는 기판이송장치
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 탄성지지체(33)는 밸트 본체(31)의 양 가장자리에 위로 돌출된 고정부(34)에 고정됨을 특징으로 하는 기판이송장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.