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유사위상정합 도파관의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015145772
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 LiNbO3, LiTaO3, MgO:LiNbO3, ZnO:LiNbO3 등과 같은 강유전체기판을 이용한 초소형 고효율 도파관을 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유사위상정합 도파관의 제조방법은 강유전체 기판상에 일정간격으로 분극 영역을 형성하는 단계; 상기 분극 영역상에 건식식각공정을 통하여 도파관을 형성하는 단계; 상기 도파관에 더미기판을 접합하는 단계; 및 상기 강유전체 기판을 평탄화하는 단계를 포함할 수 있다.따라서, 본 발명의 제조방법에 따라 제조된 강유전체 도파관은 종래의 열처리 공정을 생략함으로써, 비선형 특성의 손실을 막을 수 있으며, 순수 강유전체만을 도파관으로 이용함으로써, 파장변환소자의 고효율 및 소형화의 구현이 가능하다.강유전체, 주기적 분극, 도파관
Int. CL G02B 6/10 (2006.01)
CPC G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01)
출원번호/일자 1020050134929 (2005.12.30)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0721318-0000 (2007.05.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070525) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양우석 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 이한영 대한민국 경기 용인시
3 김우경 대한민국 경기 성남시 분당구
4 이형만 대한민국 경기 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 지티에스솔루션 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0782666-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0073570-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0752544-54
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0126489-67
6 의견서
Written Opinion		 2007.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0126466-17
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0141773-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
강유전체 기판상에 일정간격으로 분극 영역을 형성하는 단계; 상기 분극 영역상에 사진식각공정을 이용하여 도파관를 형성하는 단계; 상기 도파관에 더미기판을 접합하는 단계; 및 상기 강유전체 기판을 평탄화하는 단계를 포함하는 유사위상정합 도파관의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 강유전체 기판의 재료는 LiNbO3, LiTaO3, Mg:LiNbO3, Zn:LiNbO3, 혹은 KTP의 단결정 기판인 유사위상정합 도파관의 제조방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 Mg:LiNbO3 및 Zn:LiNbO3 기판은 LiNbO3의 결정성장을 위한 Li2CO3와 NbO5 파우더에 ZnO 또는 MgO파우더를 첨가해 성장시키는 유사위상정합 도파관의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 도파관과 상기 더미기판을 접합하기 위하여 UV 경화성 또는 열 경화성의 에폭시 및 왁스를 사용하는 유사위상정합 도파관의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 강유전체 기판을 평탄화한 후 건식식각공정을 더 포함하는 유사위상정합 도파관의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 더미기판은 강유전체와 동일한 소재의 동일한 소재이거나 굴절률이 낮은 SiO2 중 어느 하나를 사용하는 유사위상정합 도파관의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.