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적외선 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015161936
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 적외선 센서에 관한 발명으로서, 검출회로기판과 다수의 픽셀을 포함하는 적외선 센서에 있어서, 상기 픽셀은 상기 검출회로기판 상부에 형성되고 적외선을 흡수하는 볼로미터, 상기 볼로미터 상부에 픽셀단위로 상광하협(上廣下狹) 모양으로 관통 에칭된 실리콘기판층을 포함하고, 상기 실리콘기판층은 상광하협(上廣下狹) 모양의 픽셀단위 관통 홈을 형성시키는 표면 각각에 반사판을 포함한다. 본 발명의 일실시예는 적외선 센서를 제조하는 방법에 관한 발명으로서, 상광하협(上廣下狹) 모양으로 관통 에칭된 실리콘기판층을 형성하는 단계, 상기 실리콘기판층의 상광하협(上廣下狹) 모양의 픽셀단위 관통 홈 표면 각각에 반사판을 형성하는 단계 및 전극에 의해서 연결된 검출회로기판과 볼로미터를 상기 반사판이 형성된 상기 실리콘기판층과 연결하는 단계를 포함한다.
Int. CL G01J 5/14 (2006.01) G01J 5/20 (2006.01) G01J 5/02 (2006.01)
CPC G01J 5/26(2013.01) G01J 5/26(2013.01) G01J 5/26(2013.01) G01J 5/26(2013.01)
출원번호/일자 1020110044790 (2011.05.12)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0126752 (2012.11.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 공성호 대한민국 대구광역시 북구
2 최주찬 대한민국 대구광역시 남구
3 박중희 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0352472-10
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0392711-54
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0395656-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0308125-97
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0604527-56
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0604528-02
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0721728-39
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-1085767-45
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.12.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-1085766-00
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0071558-95
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
검출회로기판과 다수의 픽셀을 포함하는 적외선 센서에 있어서,상기 픽셀은 상기 검출회로기판 상부에 형성되고 적외선을 흡수하는 볼로미터;상기 볼로미터 상부에 픽셀단위로 상광하협(上廣下狹) 모양으로 관통 에칭된 실리콘기판층을 포함하고,상기 실리콘기판층은 상광하협 모양의 픽셀단위 관통 홈을 형성시키는 표면 각각에 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서
2 2
제1항에 있어서,상기 볼로미터는 적외선에 의해 저항이 변하는 감지물질층을 포함하고, 상기 감지물질층을 감싸고 있는 절연물질층을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서
3 3
제2항에 있어서,상기 절연물질층은 실리콘디옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드(SixNY)인 것을 특징으로 하는 적외선 센서
4 4
제1항에 있어서,상기 검출회로기판과 상기 볼로미터 사이에 공동이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서
5 5
제4항에 있어서,상기 픽셀의 가장자리에 형성되고, 상기 검출회로기판과 상기 볼로미터를 연결하며 공동이 형성되도록 상기 볼로미터를 지지하는 금속전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서
6 6
제1항에 있어서,상기 반사판은 알루미늄(Al)인 것을 특징으로 하는 적외선 센서
7 7
제1항에 있어서,상기 검출회로기판 상부에 금속판이 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 센서
8 8
검출회로기판과 다수의 픽셀을 포함하는 적외선 센서를 제조하는 방법에 있어서,(a) 상광하협 모양으로 관통 에칭된 실리콘기판층을 형성하는 단계;(b) 상기 실리콘기판층의 상광하협 모양의 픽셀단위 관통 홈 표면 각각에 반사판을 형성하는 단계;및(c) 전극에 의해서 연결된 검출회로기판과 볼로미터를 상기 반사판이 형성된 상기 실리콘기판층과 연결하는 단계를 포함하는 적외선 센서 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 (a)단계는 포토레지스트에 의해서 패턴이 형성된 기판의 표면을 TMAH 에칭 처리하는 단계를 포함하는 적외선 센서 제조방법
10 10
제8항에 있어서,상기 (b)단계는 물리기상증착법(PVD) 또는 화학기상증착법(CVD)에 의해서 반사판을 형성하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 제조방법
11 11
제8항에 있어서,상기 (c)단계는 실리콘-실리콘 접합 또는 에폭시 접합에 의해서 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 경북대학교 산학협력단 기초연구사업 지능형 고감도 열형 적외선 감지소자 어레이의 설계 및 제작