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무선전력 송신장치로부터 전력을 수신하기 위한 무선전력 수신장치에 있어서,무선전력 송신장치로부터 공명파를 수신하여 공진하는 공진코일;상기 공진코일로부터 전류가 유도되는 유도코일;상기 유도코일에 의해 유도된 교류전류를 직류전력으로 정류하는 정류부; 및상기 정류된 직류전류를 부하로 전달하는 출력부;를 포함하며,상기 공진코일 및 상기 유도코일은 MEMS(Micro electro Mechanical System) 구조물이며, 상기 공진코일, 유도코일, 정류부, 출력부는 하나의 SoC(System on Chip)내에 집적된 것인 무선전력 수신장치
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제1항에 있어서,상기 공진코일은, 상기 유도코일, 상기 정류부 및 상기 출력부와 상기 SoC 내에서 각각 이격되어 배치된 것을 특징으로 하는 무선전력 수신장치
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제1항에 있어서,상기 공진코일은, 미세선폭의 도선이 복수 횟수 감긴 스파이럴(spiral) 형 또는 헬리컬(helical) 형인 것을 특징으로 하는 무선전력 수신장치
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제1항에 있어서,상기 공진코일은, 도전체를 각각 포함하는 복수의 레이어가 순차적으로 적층되고, 상기 복수의 레이어의 도전체들이 서로 연결되어 코일을 형성하는 구조인 것을 특징으로 하는 무선전력 수신장치
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제1항에 있어서,상기 공진코일은, 웨이퍼 기판 상에 형성되며, 상기 웨이퍼 기판은 KOH용액에 의해 식각이 가능한 결정방향을 갖는 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 무선전력 수신장치
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제1항에 있어서,상기 공진코일은, 웨이퍼 기판, 글라스, 글라스 웨이퍼, 또는 절연 필름 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 무선전력 수신장치
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무선으로 전력을 무선전력 수신장치에 전송하기 위한 무선전력 송신장치에 있어서,교류전원을 공급하는 전원공급부;상기 교류전원의 주파수를 변환하는 주파수변환부;상기 주파수변환부의 출력 신호를 증폭시키는 증폭부;상기 무선전력 수신장치의 공진주파수와 일치하도록 무선전력 송신장치의 임피던스를 변환하는 임피던스 매칭부; 상기 증폭된 교류전원에 의해 전자기장을 발생하는 유도코일; 및상기 유도코일에 의한 전자기 유도에 의해 공진하면서 공명파를 발생하는 공진코일;을 포함하며 상기 공진코일 및 상기 유도코일은 MEMS 구조물이며, 상기 공진코일, 유도코일, 전원공급부는 하나의 SoC내에 집적된 것인 무선전력 송신장치
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무선전력 수신장치의 제조 방법에 있어서,MEMS 기술을 이용하여, 지지 기판상에 공진 코일 및 유도 코일을 서로 이격된 상태로 제조하는 단계; 및상기 공진 코일 및 상기 유도 코일을 정류 회로 및 출력 핀과 함께 패키징하여, 하나의 SoC(System on Chip) 형태의 무선 전력 수신 장치를 제조하는 단계;를 포함하는 무선전력 수신장치의 제조 방법
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