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광결맞음 단층 영상기술을 이용하여 가공 상태를 모니터링하는 레이저 가공장치

  • 기술번호 : KST2015174086
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광결맞음 단층 영상기술을 이용하여 가공 상태를 모니터링 하는 레이저 가공장치가 개시된다. 레이저 가공장치는 펨토초 레이저를 이용하여 가공물의 분자결합을 파괴하여 가공하는 가공부, 가공물의 입체 상태를 모니터링 하는 단층 모니터링부 및 3차원 단층영상을 이용하여 펨토초 레이저의 출력을 제어하는 제어부로 구성된다. 여기에 가공물의 표면 상태를 모니터링 하는 표면 모니터링부를 더 가지는 구성도 가능하다. 가공 상태에 대한 실시간 모니터링이 가능하므로 공정 전반에 대한 능동적 제어가 가능하다. 펨토초 레이저, 단층 모니터링, 단층 영상, 표면 모니터링, CCD 카메라
Int. CL C01B 21/04 (2014.01) B23K 26/14 (2014.01) B23K 26/70 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020080010136 (2008.01.31)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1088479-0000 (2011.11.24)
공개번호/일자 10-2009-0084136 (2009.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20111130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.31)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 엄태중 대한민국 광주광역시 북구
2 손익부 대한민국 광주광역시 광산구
3 노영철 대한민국 광주광역시 북구
4 이종민 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0082335-69
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.02.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0086845-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.06.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0035835-83
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0037560-86
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0187920-02
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0187955-99
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0187957-80
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0383425-02
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0711301-53
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0711273-62
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0173426-67
13 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2011.07.08 수리 (Accepted) 7-8-2011-0018554-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
15 등록결정서
Decision to grant
2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0685005-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가공물의 분자결합을 파괴하여 가공하는 펨토초 레이저를 이용하는 가공부; 상기 가공물의 입체 상태를 모니터링 하여 단층영상을 생성하는 단층 모니터링부; 및 상기 단층 모니터링부에서 생성한 단층영상을 이용하여 펨토초 레이저의 출력을 제어하는 제어부를 포함하되, 상기 단층모니터링부는 단층 모니터링용 레이저를 출사하고, 출사된 상기 단층 모니터링용 레이저를 분기시켜 분기된 각각의 단층 모니터링용 레이저간의 간섭신호를 검출하여 상기 단층영상을 생성하고, 상기 제어부는 상기 단층 모니터링부에서 생성한 상기 단층영상과 가공하고자 하는 가공목표를 비교하여 가공 상태를 판단하는 판단부; 및 상기 판단부의 판단에 따라 펨토초 레이저의 출력을 제어하는 광출력 셔터를 구비하여 가공 상태를 조정하는 조정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 가공부는 상기 펨토초 레이저를 출사하는 가공용 레이저 발생부; 및 상기 가공물의 가공위치를 조절하는 가공위치 조정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
3 3
삭제
4 4
제2항에 있어서, 상기 가공위치 조정부는 상기 펨토초 레이저가 상기 가공물에 조사되는 위치를 이동할 수 있는 고속 스캔 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 단층 모니터링부는 파장 가변 광섬유 레이저 및 저간섭성 광대역 광 중 어느 하나를 상기 단층 모니터링용 레이저로 발생시키는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 단층 모니터링부는 상기 출사된 단층 모니터링용 레이저를 분기시키는 광섬유 커플러 및 광분배기 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 단층 모니터링부는 상기 분기된 각각의 단층 모니터링용 레이저간의 광경로차를 보상하여 상기 간섭신호를 생성하는 간섭신호 생성부; 및 상기 간섭신호를 전기적인 신호로 변환하여 상기 단층영상을 생성하는 단층영상 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 간섭신호 생성부는 광섬유 커플러인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
10 10
제8항에 있어서, 상기 단층영상 생성부는 광신호 균형 검출기, 고분해 분광기 및 고감도 CCD카메라 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
11 11
삭제
12 12
제1항에 있어서, 상기 레이저 가공장치는 상기 가공물의 표면 상태를 모니터링 하여 표면영상을 생성하는 표면 모니터링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치
지정국 정보가 없습니다
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1 WO2009096750 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
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1 WO2009096750 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2009096750 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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