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박막 면의 광학적 특성 변화를 이용한 다기능 측정 장치와 그곳에 사용될 수 있는 감지막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015203774
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 박막이 특정 측정대상 물질에 노출되어 변형될 때 발생하는 박막 면의 광 반사율 변화, 파장 변화 등과 같은 광학적 특성 변화를 토대로 측정대상 물질의 압력, 종류 및 농도를 측정할 수 있는 다기능 측정 장치와 그곳에 사용될 수 있는 감지막 및 그 제조방법이 개시된다. 다기능 측정장치는, 대기압에 노출되는 제1 면과 측정대상 물질에 노출되는 제2 면을 구비하고, 제1 면과 제2 면 사이의 압력차에 의해 변형가능한 감지막; 감지막에 광을 조사함과 동시에 감지막에서 반사되는 광을 수신하는 광조사 및 수신부; 광 조사 및 수신부에 의해 수신되는 광의 광학적 특성에 따라 측정대상 물질의 압력과 종류와 농도 중에서 적어도 한 가지를 분석하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 21/25 (2006.01) G01N 21/55 (2006.01)
CPC G01N 21/8422(2013.01) G01N 21/8422(2013.01) G01N 21/8422(2013.01) G01N 21/8422(2013.01) G01N 21/8422(2013.01)
출원번호/일자 1020120035368 (2012.04.05)
출원인 공주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1319771-0000 (2013.10.11)
공개번호/일자 10-2013-0113074 (2013.10.15) 문서열기
공고번호/일자 (20131017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이기원 대한민국 대전광역시 유성구
2 이용배 대한민국 충청남도 연기군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 위병갑 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 * *층(대영빌딩)(위특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 태우티앤에이 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0272575-94
2 보정요구서
Request for Amendment
2012.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0042252-62
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0283998-40
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0045436-86
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0450242-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0781235-15
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0781231-33
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.09.06 수리 (Accepted) 4-1-2013-5121903-91
10 등록결정서
Decision to grant
2013.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0676946-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027196-68
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036312-87
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136814-18
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번호 청구항
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단결정 규소기판을 준비하는 단계;상기 단결정 규소기판 상에 루게이트 다공성 규소막을 형성하도록 상기 단결정 규소기판을 에칭하는 단계; 및상기 기판 상에 형성된 상기 루게이트 다공성 규소막을 분리하도록 상기 루게이트 다공성 규소막과 상기 기판 사이를 전해 연마하는 단계;를 포함하는 것으로 특징으로 하는 감지막의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 단결정 규소기판을 준비하는 단계는 0
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제4항에 있어서, 상기 기판으로부터 분리된 상기 루게이트 다공성 규소막을 200℃에서 1시간 동안 열처리하는 단계를 더 포함하는 것으로 특징으로 하는 감지막의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.