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메탈페이스트디스펜싱방법을이용한가속도센서및진동센서의질량제조방법

  • 기술번호 : KST2015223591
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가속도센서 및 진동센서으 질량을 제조하는 방법에 관한 것으로, 실리콘웨이퍼(1)를 세척한 후 압전저항(2)를 제조하고, 실리콘웨이퍼(1)전면에 질량패들(mass paddle)로서 Ni박막(3)을 증착하며, 사진 식각법과 습식식각으로 Ni박막(3)을 패터닝(patterning)한 후 RTP(rapid thermal processing)방법으로 열처리하여 Ni실리사이드(3')를 형성하고, RTP방법에 의한 열처리시 산화된 Ni의 표면산화층을 NH4OH수용액으로 제거하며, Ni실리사이드(3')상에 디스펜서(dispenser)를 이용하여 메탈페이스트(4: metal paste)를 정량올리고, 180℃∼200℃의 온도로 열처리하여 메틸페이스트(4)를 경화시켜 비교적 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 다량 올릴 수 있고 공정이 간편하고 양산적용에 이상적이며 하나의 칩위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지의 센서를 함께 제조할 수 있는 메탈페이스트 디스펜싱(metal paste dispening)방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량 제조방법이다.
Int. CL G01P 15/00 (2006.01)
CPC G01P 15/0802(2013.01) G01P 15/0802(2013.01)
출원번호/일자 1019930020962 (1993.10.09)
출원인 대한민국경북대학교센서기술연구소, 만도기계 주식회사
등록번호/일자 10-0101113-0000 (1996.06.25)
공개번호/일자 10-1995-0012077 (1995.05.16) 문서열기
공고번호/일자 1019960003957 (19960325) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.10.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국경북대학교센서기술연구소 대한민국 대구광역시 북구
2 만도기계 주식회사 대한민국 경기도 군포시 군포로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 대구직할시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍재일 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (삼성동) 삼영빌딩 *층(홍앤홍국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1993.10.09 수리 (Accepted) 1-1-1993-0108728-55
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.10.09 수리 (Accepted) 1-1-1993-0108729-01
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.10.09 수리 (Accepted) 1-1-1993-0108730-47
4 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1995.02.11 수리 (Accepted) 1-1-1993-0108731-93
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1996.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0046767-86
6 등록사정서
Decision to grant		 1996.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0046768-21
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.04 수리 (Accepted) 4-1-1999-0028808-10
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번호 청구항
1 1

실리콘웨이퍼(1)를 세척한 후 압전저항(2)을 제조하고, 실리콘웨이퍼(1)전면에 질량패들(mass paddle)로써 Ni박막(3)을 증착하며, 사진식각법과 습식식각으로 Ni박막(3)을 패터닝(patterning)한 후 RTP(rapid thermal processing)방법으로 열처리하여 Ni실리사이드(3')을 형성하고, RTP방법에 의한 열처리시산화도니 Ni의 표면산화층을 NH4OH수용액으로 제거하며, Ni실리사이드(3')상에 디스펜서(dispenser)를 이용하여 메탈페이스트(4 : metal paste)를 정량올리고, 180℃∼200℃의 온도로 열처리하여 메탈페이스트(4)를 경화시키는 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing)방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

2 2

제 1 항에 있어서, Ni박막(3)을 1800∼2200Å증착하는 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱 방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

3 3

제 1 항에 있어서, Ni박막(3) 대신에 Cr박막이나 Au박막 또는 Au/Cr-Ni이나 Au/Cr/Ti의 다층박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱 방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

4 4

제 1 항에 있어서, RTP방법으로 열처리시 온도가 550℃이거나 또는 750℃인 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱 방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

5 5

제 1 항에 있어서, 메탈페이스트(4)가 Pb/Sn 합금이나 Ag/Pd 합금 및 Pb/Sn/Ag 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱 방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

6 6

제 1 항에 있어서, 메탈페이스트(4)를 경화시키는 열처리온도가 180℃∼200℃인 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱 방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

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1 JP2828914 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP7280829 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JPH07280829 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US5905044 US 미국 DOCDBFAMILY
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