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그래핀을 이용한 능동센서소자, 및 그 제조 방법(Active sensor using Graphene, and method of fabricating the same)

  • 기술번호 : KST2016020773
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그래핀을 이용한 능동센서소자가 제공된다. 상기 그래핀을 이용한 능동센서소자는, 제1 기판, 그래핀 채널층, 상기 그래핀 채널층 양측의 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 상기 제1 기판 상에 배치된 트랜지스터, 상기 트랜지스터 상의 제2 기판, 및 상기 트랜지스터와 마주보도록 상기 제2 기판 상에 배치되고, 상기 제2 기판에 대상물의 터치 여부에 따라서 상기 소스 전극과 전기적 연결이 조절되는 센싱 그래핀 패턴을 포함한다.
Int. CL H01L 41/187 (2006.01) G06F 3/041 (2006.01) H01L 41/083 (2006.01) H01L 41/27 (2013.01) H01L 41/113 (2006.01) H01L 41/047 (2006.01) C01B 31/04 (2006.01)
CPC H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01)
출원번호/일자 1020150081243 (2015.06.09)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0145234 (2016.12.20) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.06.09)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박완준 대한민국 서울특별시 강동구
2 천성우 대한민국 경기 김포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0554478-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2016-0016011-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0022625-67
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0239598-08
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.03.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0239611-15
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0531116-34
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.08.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0842540-49
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-0842539-03
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2017.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0623252-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 기판;그래핀 채널층, 상기 그래핀 채널층 양측의 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 상기 제1 기판 상에 배치된 트랜지스터;상기 트랜지스터 상의 제2 기판; 및상기 트랜지스터와 마주보도록 상기 제2 기판 상에 배치되고, 상기 제2 기판에 대상물의 터치 여부에 따라서 상기 소스 전극과 전기적 연결이 조절되는 터치 센싱 그래핀 패턴을 포함하며,상기 제2 기판 상에 배치되고, 외부를 향하여 돌출된 센싱 패턴을 갖는 상부 기판 및,상기 상부 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치된 추가 센싱 그래핀 패턴을 더 포함하며,상기 추가 센싱 그래핀 패턴은, 상기 센싱 패턴으로부터 전달된 상기 대상물의 질감에 따라 물리적으로 변형하여 저항이 변하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
2 2
제1 항에 있어서, 상기 터치 센싱 그래핀 패턴 및 상기 트랜지스터 사이에 배치되고, 상기 소스 전극의 적어도 일부분 및 상기 터치 센싱 그래핀 패턴의 적어도 일부분을 노출하는 개구부(opening)를 갖는 페시베이션층을 더 포함하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
3 3
제2 항에 있어서, 상기 제2 기판에 대상물이 터치되는 경우, 상기 터치 센싱 그래핀 패턴이 상기 개구부 내부로 연장되어, 상기 소스 전극과 전기적으로 연결되는 것을 포함하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
4 4
제1 항에 있어서, 상기 제2 기판에 대상물이 터치되는 경우, 상기 터치 센싱 그래핀 패턴과 상기 소스 전극이 전기적으로 연결되어, 상기 트랜지스터의 상기 드레인 전극에서 상기 소스 전극으로 흐르는 전류 값이 변화되는 것을 포함하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
5 5
삭제
6 6
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8 8
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9 9
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10 10
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11 11
제1 기판;그래핀 채널층 및 상기 그래핀 채널층 상의 게이트 전극을 포함하고, 상기 제1 기판 상에 배치된 트랜지스터;상기 트랜지스터 상의 제2 기판; 및상기 트랜지스터와 마주보도록 상기 제2 기판 상에 배치되고, 상기 제2 기판에 대상물의 터치 여부에 따라서 개구부에 의하여 상기 게이트 전극과 거리가 조절되는 터치 센싱 그래핀 패턴을 포함하되,상기 개구부는 상기 터치 센싱 그래핀 패턴 및 상기 게이트 전극 사이에 배치되고, 상기 게이트 전극의 적어도 일부분 및 상기 센싱 그래핀 패턴의 적어도 일부분을 노출하고상기 제2 기판 상에 배치되고, 외부로 돌출된 센싱 패턴을 갖는 상부 기판 및상기 상부 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치된 추가 센싱 그래핀 패턴을 더 포함하고,상기 추가 센싱 그래핀 패턴은, 상기 센싱 패턴으로부터 전달된 상기 대상물의 질감에 따라 물리적으로 변형하여 저항이 변하는, 그래핀을 이용한 능동센서소자
12 12
제1 항 또는 제11 항에 있어서, 상기 추가 센싱 그래핀 패턴과 접촉하는 상기 상부 기판의 일면 및 상기 제2 기판의 일면은, 오목부 및 볼록부를 갖는 요철 형태인 것을 포함하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
13 13
제12 항에 있어서, 상기 상부 기판의 오목부와 상기 제2 기판의 볼록부가 서로 대응되고, 상기 상부 기판의 볼록부와 상기 제2 기판의 오목부가 서로 대응되는 것을 포함하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
14 14
제1 항 또는 제11 항에 있어서, 상기 추가 센싱 그래핀 패턴 양측에 배치된, 제1 추가 전극 패턴, 및 제2 추가 전극 패턴을 더 포함하는 그래핀을 이용한 능동센서소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 산합협력단 원천기술개발사업 / 나노소재 기술개발사업 / 나노소재 원천기술개발사업 탄소나노박막 및 압력 증폭 나노구조를 이용한 생체모방형 촉각센서 개발