| 1 |
1
표면 방향으로 유체가 유동하는 제1 기판;상기 제1 기판 상에 형성되며, 상기 유체 내 표적 물질이 선택적으로 결합하는 검출 물질이 상면에 형성되며, 상기 표적 물질이 상기 검출 물질에 결합함에 따라 전기적 특성이 변화하는 적어도 하나의 그래핀 채널(graphene channel); 및상기 그래핀 채널의 일 측에 형성되며, 상기 변화된 전기적 특성을 측정하기 위한 측정전극;을 포함하되,상기 그래핀 채널 아래에는 상기 표적 물질을 상기 검출 물질 방향으로 유도하는 분극층이 형성된, 표적 물질 검출 센서
|
| 2 |
2
표면 방향으로 유체가 유동하는 제1 기판;상기 제1 기판 상에 마련되는 전압이 인가되는 바이어스 전극;상기 전압 인가 전극 상에 형성되며, 상기 유체 내 표적 물질이 선택적으로 결합하는 검출 물질이 상면에 형성되며, 상기 표적 물질이 상기 검출 물질에 결합함에 따라 전기적 특성이 변화하는 적어도 하나의 그래핀 채널(graphene channel); 및상기 그래핀 채널의 일 측에 형성되며, 상기 바이어스 전극에 인가된 전압 및 상기 전기적 특성의 변화에 따라 변화된 전류를 감지하는 측정전극;을 포함하며,상면으로 유체의 유동 경로를 제공하고 상기 그래핀 채널 상측이 개구된 홀 구조물을 더 포함하되, 상기 홀 구조물은, 상기 유체에 대하여 상기 그래핀 채널 상에서의 높이 방향 유로를 상기 홀 구조물 상에서의 높이 방향 유로보다 깊게 하는 표적 물질 검출 센서
|
| 3 |
3
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 표적 물질은 암 세포며, 상기 검출 물질은 상기 암 세포와 선택적으로 결합하는 항체인 표적 물질 검출 센서
|
| 4 |
4
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 적어도 하나의 그래핀 채널은, 상기 제1 기판의 상면에 동일한 레벨(level)로 형성되되, 지그재그(zig-zag)로 위치한 표적 물질 검출 센서
|
| 5 |
5
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 측정전극 상에는 상기 유체로부터 상기 측정전극을 보호하는 보호층이 형성된 표적 물질 검출 센서
|
| 6 |
6
제1 항에 있어서,상기 유체의 유동 경로를 제공하되, 상기 그래핀 채널 상측이 개구되며, 일 그래핀 채널 상의 유동 진입 경로 전후로 단차를 제공하는 홀 구조물을 더 포함하는 표적 물질 검출 센서
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제2 항에 있어서,상기 측정전극은 상기 그래핀 채널의 양 단에 형성되며, 상기 바이어스 전극 및 상기 그래핀 채널 양 단의 측정전극은, 트랜지스터를 구성하는 표적 물질 검출 센서
|
| 9 |
9
제2 항에 있어서,상기 바이어스 전극에는 상기 표적 물질의 표면 극성과 반대의 극성 전압이 인가되는 표적 물질 검출 센서
|
| 10 |
10
표면 방향으로 유체가 유동하는 제1 기판을 제공하는 단계;상기 제1 기판 상에, 적어도 하나의 그래핀 채널을 형성하는 단계;상기 그래핀 채널의 일 측에 상기 그래핀 채널의 전기적 특성 변화를 감지하는 측정전극을 형성하는 단계; 및상기 그래핀 채널 상에 상기 유체 내 표적 물질이 선택적으로 결합하는 검출 물질을 형성하는 단계;를 포함하되, 상기 그래핀 채널 아래에는, 상기 표적 물질을 상기 검출 물질 방향으로 유도하는 분극층이 더 형성되는, 표적 물질 검출 센서 제조 방법
|
| 11 |
11
표면 방향으로 유체가 유동하는 제1 기판을 제공하는 단계;상기 제1 기판 상에 바이어스 전압이 인가되는 바이어스 전극을 형성하는 단계;상기 바이어스 전극 상에 적어도 하나의 그래핀 채널을 형성하는 단계;상기 그래핀 채널의 일 측에 상기 그래핀 채널의 전기적 특성 변화를 감지하는 측정전극을 형성하는 단계; 및상기 그래핀 채널 상에 상기 유체 내 표적 물질이 선택적으로 결합하는 검출 물질을 형성하는 단계;를 포함하되,상면으로 유체의 유동 경로를 제공하고 상기 그래핀 채널 상측이 개구된 홀 구조물이 더 형성되되, 상기 홀 구조물은, 상기 유체에 대하여 상기 그래핀 채널 상에서의 높이 방향 유로를 상기 홀 구조물 상에서의 높이 방향 유로보다 깊게 하는 표적 물질 검출 센서 제조 방법
|
| 12 |
12
제10 항 또는 제11 항에 있어서,상기 전극을 형성하는 단계 이후, 상기 유체로부터 상기 전극을 보호하는 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표적 물질 검출 센서 제조 방법
|
| 13 |
13
제10 항 또는 제11 항에 있어서,상기 검출 물질을 형성하는 단계 이전에, 상기 그래핀 채널을 열처리 함으로써, 상기 그래핀 채널의 표면을 개질시키는 단계를 더 포함하는 표적 물질 검출 센서 제조 방법
|
