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펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 근적외선 영역의 빛을 전달하는 광 전달수단;상기 광 전달수단을 통해 전달받은 빛을 통과시키고, 근접장 증폭에 따라 비선형적으로 움직이는 전자에 기초하여 극자외선 영역의 고차 조화파를 생성하는 사파이어; 및상기 사파이어의 겉부분에 형성되고, 상기 사파이어와의 경계면에서 플라즈몬 공명(surface plasmon resonance) 및 피뢰침 효과(lightning-rod effect)를 사용하여 상기 근접장 증폭을 발생시키는 금속 박막을 포함하는 고차 조화파 생성장치
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제1항에 있어서,상기 사파이어는,깔때기(funnel) 형상인 고차 조화파 생성장치
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제1항에 있어서,상기 금속 박막은,금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al) 중 하나 이상의 재질로 구성된 고차 조화파 생성장치
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제1항에 있어서,상기 금속 박막 및 상기 사파이어를 진공 환경 내에서 수용하기 위한 진공 챔버를 더 포함하는 고차 조화파 생성장치
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제1항에 있어서,상기 광 전달수단은,상기 펨토초 레이저 발생기로부터 출력되는 빛을 상기 사파이어에 집광시키는 포커싱 렌즈; 및상기 출력되는 빛의 분산을 보상하기 위한 웨지 프리즘(wedge prism)과 처프 미러(chirped mirror)를 더 포함하는 고차 조화파 생성장치
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제1항에 있어서,상기 사파이어는,상기 근접장 증폭의 비율이 최소 20 dB 이상인 고차 조화파 생성장치
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펨토초 레이저 발생기에서 출력되는 근적외선 영역의 빛을 전달하는 광 전달수단;상기 광 전달수단을 통해 전달받은 빛을 통과시키고, 근접장 증폭에 따라 비선형적으로 움직이는 전자에 기초하여 극자외선 영역의 고차 조화파를 생성하는 베어(bare) 사파이어 결정구조; 및상기 빛이 통과할 때 플라즈몬 공명(surface plasmon resonance) 및 피뢰침 효과(lightning-rod effect)를 사용하여 상기 근접장 증폭을 발생시키는 패턴(pattern) 사파이어를 포함하는 고차 조화파 생성 장치
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제7항에 있어서,상기 패턴 사파이어는,깔때기(funnel) 형상인 고차 조화파 생성 장치
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제7항에 있어서,상기 패턴 사파이어 및 상기 베어 사파이어 결정구조를 진공 환경 내에서 수용하기 위한 진공 챔버를 더 포함하는 고차 조화파 생성 장치
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제7항에 있어서,상기 광 전달수단은,상기 펨토초 레이저 발생기로부터 출력되는 빛을 상기 패턴 사파이어에 집광시키는 포커싱 렌즈; 및상기 출력되는 빛의 분산을 보상하기 위한 웨지 프리즘(wedge prism)과 처프 미러(chirped mirror)를 더 포함하는 고차 조화파 생성 장치
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제7항에 있어서,상기 패턴 사파이어는,상기 근접장 증폭의 비율이 최소 20 dB 이상인 고차 조화파 생성 장치
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