1 |
1
제1 펨토초 레이저로부터 출사되는 제1 레이저 펄스 중 일부 레이저 펄스를 반사하고, 상기 일부 레이저 펄스와 다른 일부 레이저 펄스를 통과시키는 기준면; 및상기 제1 펨토초 레이저와 제2 펨토초 레이저 간의 반복률 차이에 기초하여 상기 일부 레이저 펄스가 상기 기준면으로부터 반사된 반사광과, 상기 다른 일부 레이저 펄스가 상기 기준면으로부터 통과되어 측정면으로부터 반사된 측정광의 강도 상호 상관 신호를 생성하는 광 상호상관기(optical cross-correlator)를 포함하고,상기 강도 상호 상관 신호는 상기 제2 펨토초 레이저로부터 출사되는 제2 레이저 펄스에 기초하여 상기 반사광 및 상기 측정광이 샘플링된 신호이고,상기 기준면과 상기 측정면 사이의 거리는 상기 강도 상호 상관 신호의 반복 주기, 상기 제1 펨토초 레이저와 상기 제2 펨토초 레이저 간의 반복률의 차이 및 상기 제1 펨토초 레이저의 반복률에 기초하여 계산되고,상기 제1 펨토초 레이저와 상기 제2 펨토초 레이저 간의 반복률의 차이는 상기 제1 레이저 펄스 와 상기 강도 상호 상관 신호에 기초하여 계산되고, 상기 제1 펨토초 레이저의 반복률은 상기 제1 레이저 펄스에 기초하여 계산되는 거리 측정 장치
|
2 |
2
제1항에 있어서,상기 기준면과 상기 측정면은 동일 축 상에 위치하는 거리 측정 장치
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 반사광, 상기 측정광, 및 상기 제2 레이저 펄스를 동일 축에 정렬하여 상기 광 상호상관기로 전달하는 PBS(polarizing beam splitter)를 더 포함하는 거리 측정 장치
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 광 상호상관기는,상기 반사광, 상기 측정광, 및 상기 제2 레이저 펄스를 사용하여 이차 조화 펄스(second harmonic pulse)를 생성하는 비선형 결정(nonlinear crystal)을 포함하고,상기 광 상호상관기는,상기 이차 조화 펄스를 사용하여 상기 강도 상호 상관 신호를 생성하는 거리 측정 장치
|
5 |
5
제1항에 있어서,상기 반사광 및 상기 측정광이 상기 제2 레이저 펄스와 수직 편광이 되도록 상기 반사광 및 상기 측정광의 편광 방향을 조절하는 제1 반파장 판(first half-wave plate)을 더 포함하는 거리 측정 장치
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 제2 레이저 펄스가 상기 반사광 및 상기 측정광과 수직이 되도록 상기 제2 레이저 펄스의 편광 방향을 조절하는 제2 반파장 판(second half-wave plate)을 더 포함하는 거리 측정 장치
|
7 |
7
제1항에 있어서,상기 제1 레이저 펄스를 빔 분할(beam splitting)하여 복수의 빔을 생성하는 분할기(splitter)를 더 포함하고,상기 광 상호상관기는,상기 반사광과, 상기 복수의 빔이 복수 개의 측정면들로부터 반사된 복수의 측정광들, 및 상기 제2 레이저 펄스를 사용하여 상기 강도 상호 상관 신호를 생성하는 거리 측정 장치
|
8 |
8
제7항에 있어서,상기 분할기는,발산하는 빔(diverging beam), 투과형 광 분할기(transparent beam splitter), 광 커플러(fiber coupler) 중 하나를 사용하여 상기 복수의 빔을 생성하는 거리 측정 장치
|
9 |
9
제1항에 있어서,상기 반사광 및 상기 측정광을 증폭하기 위한 EDFA(Erbium doped fiber amplifier)를 더 포함하는 거리 측정 장치
|
10 |
10
제1항에 있어서,상기 제1 펨토초 레이저 및 상기 제2 펨토초 레이저를 더 포함하는 거리 측정 장치
|
11 |
11
제10항에 있어서,상기 제1 펨토초 레이저 및 상기 제2 펨토초 레이저를 안정화하기 위한 안정화 모듈을 더 포함하는 거리 측정 장치
|
12 |
12
제11항에 있어서,상기 안정화 모듈은,기준 시계(reference clock)를 포함하는 거리 측정 장치
|