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연마 대상물의 표면을 평면으로 연마하는 장치로서, 원반 형상으로, 수직으로 배치되는 중심축을 기준으로 회전 가능하게 구성되는 연마휠;자기 유변 유체를 저장하는 자기유변유체 저장탱크와, 상기 연마휠의 중심축에 직교하는 방향으로 평행하게 복수개로 배치되되, 상기 연마휠의 중심축과 상기 연마휠의 외주 각각과 일정 거리 이격되어 배치되는 단위 공급 노즐을 포함하는 공급 노즐을 포함하고, 상기 자기 유변 유체를 상기 연마휠의 상부면으로 자기 유변 유체를 공급하는 유체 공급부;상기 연마휠의 하부에 배치되어 상기 연마휠의 상부면으로 공급된 상기 자기 유변 유체에 대하여 자력을 인가하는 복수개의 단위 자석편을 포함하되, 상기 단위 자석편의 배치폭은 상기 단위 공급 노즐을 통한 상기 자기 유변 유체의 공급폭에 대응하는 자기 공급부;상기 자기 유변 유체의 공급폭에 대응하는 폭을 갖고, 상기 연마휠의 상부면 상에서 연마에 사용된 상기 자기 유변 유체를 흡입하는 흡입 노즐과, 상기 흡입 노즐로 흡입력을 제공하는 흡입 펌프를 포함하고, 상기 연마휠의 상부면에 공급된 상기 자기 유변 유체를 회수하는 유체 회수부; 및상기 연마 대상물을 상기 연마휠의 상부면으로 이동시키고, 상기 연마휠의 상부면 상에서 상기 연마 대상물을 회전 및 일정 거리만큼 왕복 이동시키는 공작물 이동부;를 포함하는 평면 연마 장치
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제1항에 있어서, 상기 유체 공급부는,연마 슬러리를 저장하는 연마 슬러리 저장탱크와, 상기 자기 유변 유체와 상기 연마 슬러리를 혼합한 연마 유체를 상기 공급 노즐로 공급하는 믹서를 더 포함하는 평면 연마 장치
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제3항에 있어서, 복수의 상기 단위 공급 노즐은,상기 연마휠의 중심축에서 상기 연마휠의 외주측으로 갈수록 상기 자기 유변 유체 또는 상기 연마 유체의 공급량이 증가하는 평면 연마 장치
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제5항에 있어서, 상기 복수개의 단위 자석편은,매트릭스 형태로 배치되는 평면 연마 장치
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제6항에 있어서, 상기 복수개의 단위 자석편 중, 상기 연마휠의 외주측으로 배치되는 상기 단위 자석편의 자력은 상기 연마휠의 내측으로 배치되는 상기 단위 자석편의 자력보다 큰 평면 연마 장치
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제3항에 있어서, 상기 유체 회수부는,상기 흡입 노즐을 통해 흡입된 상기 연마 유체에서 평면 연마 중 분쇄된 상기 연마 슬러리를 분리한 후, 상기 연마 유체를 상기 유체 공급부로 공급하는 컨디셔너(conditioner)를 더 포함하는 평면 연마 장치
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제9항에 있어서, 상기 유체 공급부로 공급되는 상기 자기 유변 유체 또는 상기 연마 유체를 임시 보관하는 임시 보관 탱크를 더 포함하는 평면 연마 장치
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제3항에 있어서, 상기 공작물 이동부는,상기 연마 대상물을 고정하는 고정 유닛과,상기 고정 유닛을 회전시키는 회전 유닛과, 상기 연마 대상물을 상기 연마휠로 이동시키거나 상기 연마휠에서 이격시키는 제1 이동 유닛과, 상기 연마휠 상에서 상기 연마 대상물을 일정 범위 내에서 왕복 이동시키는 제2 이동 유닛을 포함하는 평면 연마 장치
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제12항에 있어서, 상기 제2 이동 유닛의 왕복 이동 경로는,상기 연마휠의 중심축과 교차하는 직선으로 이루어지는 평면 연마 장치
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제13항에 있어서, 상기 제2 이동 유닛의 왕복 이동 경로의 길이는,상기 연마휠로 공급된 상기 연마 유체의 공급폭에 대응하는 평면 연마 장치
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