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하나 이상의 메틸기를 포함하는 저마늄 화합물 가스 및 하나 이상의 메틸기를 포함하는 틴 화합물 가스; 또는하나 이상의 메틸기를 포함하는 저마늄 화합물 가스, 하나 이상의 메틸기를 포함하는 실란 화합물 가스 및 하나 이상의 메틸기를 포함하는 틴 화합물 가스;를 포함하는 원료 가스에 레이져를 조사하여 코어 나노입자를 형성하는 단계; 및상기 코어 나노입자 상에 탄소 보호층을 형성하는 단계를 포함하고,저마늄 합금을 포함하는 코어; 및 상기 탄소 보호층을 포함하는 쉘;을 포함하는 코어-쉘 구조이고,상기 코어 나노입자의 직경은 5 nm 이상 30 nm 이하이고,상기 탄소 보호층은 2 nm 초과 3 nm 이하인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 저마늄 합금 나노 입자는, 저마늄-틴 합금 및 저마늄-실리콘-틴 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 나노 입자인 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 저마늄 화합물, 실란 화합물 및 틴 화합물은, 각각, 에틸기, 클로린 계열기 및 아이오다이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 작용기를 포함하는 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 저마늄 화합물은 테트라메틸저마늄이고, 상기 실란 화합물은 테트라메틸실란이고, 상기 틴 화합물은 테트라메틸틴인 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 원료 가스의 증기압은 100 torr 이하인 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 레이져의 조사는, 2 Hz 내지 20 Hz로, 1 내지 3 시간 동안 조사하는 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 레이져는, ND-YAG 펄스 레이져, ND-glass 펄스 레이져 또는 루비 레이져인 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 레이져의 파장은 1064 nm, 532 nm 또는 355 nm인 것인, 저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 원료 가스 중의 저마늄 화합물 가스와, 실란 화합물 가스, 틴 화합물 가스 또는 이 둘의 조성비를 조절하여, 상기 저마늄 합금 나노 입자 중 저마늄과, 실란, 틴 또는 이 둘의 조성비를 조절하는 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 저마늄 합금 나노 입자는, 단결정 나노 입자인 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소 보호층은, 다중층인 것인,저마늄 합금 나노 입자의 제조방법
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