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방수갈바노미터 광음향 현미경에 있어서,제어신호를 생성하는 제어부;상기 제어신호에 따라 레이저 빔(laser beam)을 방사하는 레이저 발생기와 발생된 레이저 빔을 콜리메이션(collimation)하는 적어도 하나의 랜즈를 포함하는 광학계;상기 광학계로부터의 레이저 빔이 통과하는 초점선택 랜즈유닛과, 초점변경을 위해 상기 초점선택 랜즈유닛을 이동시키는 이동유닛을 포함하여, 상기 레이저 빔의 상기 초점선택 랜즈유닛 상의 조사 위치를 검사 진행중 변경할 수 있는 초점선택 변경부;상기 초점선택 변경부를 통과한 레이저 빔의 방향을 제어하는 광음향 가이드부;상기 광음향 가이드부에 의해 가이드된 레이저 빔을 반사시켜 검사대상물로 조사하되, 상기 초점선택 랜즈유닛 상의 조사 위치가 변경되는 경우 상기 검사대상물에 대한 초점이 변경된 레이저 빔을 상기 검사대상물로 조사하는 방수갈바노미터 스캐너; 및레이저 빔의 조사에 따른 광열효과(photothermal effect)에 의해 상기 검사대상물로부터 발생된 음파가 상기 방수갈바노미터 스캐너에서 반사되고 상기 광음향 가이드부를 통과하며, 상기 광음향 가이드부를 통과한 상기 음파를 증폭한 후 상기 제어부로 음파신호를 출력하는 신호변환부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 초점선택 랜즈유닛은 상기 이동유닛에 배열되는 서로 초점이 다른 복수의 랜즈를 포함하고,상기 이동유닛은 직선운동 또는 회전운동을 하여 상기 복수의 랜즈 중 초점변경을 위해 선택된 랜즈를 상기 레이저 빔에 정렬시키는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 초점선택 랜즈유닛은 상기 레이저 빔이 조사되는 고리형상의 경사면을 가지는 도넛형 랜즈를 포함하며,상기 이동유닛은 상기 초점선택 랜즈유닛을 홀딩하고 회전운동을 하여 상기 초점을 변경시키는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 초점선택 랜즈유닛은 상기 이동유닛에 홀딩되며 상기 레이저가 입사되는 경사면을 가지는 삼각프리즘 랜즈를 포함하고,상기 이동유닛은 직선운동을 하여 상기 레이저가 조사되는 상기 삼각프리즘 랜즈의 경사면 상의 위치를 변경시킴으로써, 상기 초점을 변경시키는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 4에 있어서,상기 이동유닛은 상기 경사면에 대한 상기 레이저 빔의 입사각이 변경되도록 회전되어 상기 초점을 변경시키거나, 상기 초점의 방향을 변경시키는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 이동유닛은,상기 초점선택 랜즈유닛이 안착되는 랜즈 홀더; 및상기 랜즈 홀더를 상기 레이저 빔이 조사되는 Z축상에서 이동시켜 상기 초점을 변경시키는 Z축 이동스테이지;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 1에 있어서,상기 제어부는,상기 제어신호로서, 상기 레이저 발생기, 상기 초점선택 변경부 및 상기 방수갈바노미터 스캐너에 대한 동기신호를 생성하는 데이터 수집기(data acquisition); 및상기 신호변환부로부터 전달된 음파신호를 기반으로 상기 검사대상물의 영상을 생성하는 디지타이저(digitizer);를 포함하고,상기 동기신호에 따라 제1 모드에서 상기 초점선택 변경부는 정지상태, 상기 방수갈바노미터 스캐너는 스캔상태, 상기 디지타이저는 영상생성을 위한 데이터 처리상태가 되고,상기 동기신호에 따라 상기 제1 모드에 연속하여 제2 모드에서 상기 초점선택 변경부는 초점변경을 위한 이동상태, 상기 방수갈바노미터 스캐너는 스캔 정지상태, 상기 디지타이저는 정지상태로 제어되는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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청구항 7에 있어서,상기 제어부는,복수의 상기 제1 모드 및 상기 제2 모드를 수행하여 서로 다른 복수의 초점에서 음파신호를 획득한 이후, 이를 기초로 일괄적으로 상기 검사대상물의 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는, 방수갈바노미터 광음향 현미경
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