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전자 상자성 공명 분광 장치에 있어서,RF 신호를 생성하는 발진기;상기 RF 신호를 이용하여 대상체로부터 전자 상자성 공명 신호를 수신하는 공진기;상기 공진기가 반사하는 상기 전자 상자성 공명 신호를 기초로, 상기 공진기의 임피던스 매칭 회로에 포함된 하나 이상의 가변 커패시터의 커패시턴스를 제어하여, 상기 공진기의 공진 주파수와 임피던스를 조절하는 제어신호를 출력하는 자동 제어 회로를 포함하는, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 발진기의 출력단에 결합되어, 상기 RF 신호를 분리하는 스플리터;상기 스플리터의 제 1 출력단에 결합되고, 상기 제 1 출력단에 출력되는 RF 신호의 위상을 조절하는 위상 천이기;상기 스플리터의 제 2 출력단에 결합되고, 상기 공진기로 상기 RF 신호를 제공하고, 상기 공진기의 출력을 출력하는 순환기;상기 순환기의 출력을 증폭하는 증폭기;상기 증폭기의 출력을 상기 자동 제어 회로로 전달하는 커플러;상기 커플러의 출력과 상기 위상 천이기의 출력을 곱하여 출력하는 믹서를 더 포함하는, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 공진기는 대상체와 접촉하도록 형성된 코일,상기 코일에 그 일측 단자가 접속된 전송선로,상기 전송선로의 타측 단자에 결합된 상기 임피던스 매칭회로 및상기 임피던스 매칭회로에 결합된 외부단자를 포함하되,상기 외부단자를 통해 상기 자동 제어 회로의 제어신호를 수신하고, 수신된 제어신호가 상기 임피던스 매칭회로에 전달되는 것인, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 공진기는 대상체와 접촉하도록 형성된 코일,상기 코일의 일측 단자에 그 입력단자가 접속되는 제 1 전송선로,상기 코일의 타측 단자에 그 입력단자가 접속되는 제2 전송선로,상기 제 1 전송선로의 출력단자에 접속되고, 상기 제어신호에 의해 커패시턴스가 조절되는 튜닝용 제 1 커패시터, 상기 제 2 전송선로의 출력단자에 접속되고, 상기 제어신호에 의해 커패시턴스가 조절되는 튜닝용 제 2 커패시터, 및 상기 제 1 커패시터와 제 2 커패시터의 출력단 사이에 접속되고, 상기 제어신호에 의해 커패시턴스가 조절되는 매칭용 커패시터를 포함하는 상기 임피던스 매칭회로, 및상기 자동 제어 회로의 제어신호를 수신하고, 상기 제 1 커패시터, 제 2 커패시터 및 매칭용 커패시터에 전달하는 외부단자를 포함하는 것인, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 4 항에 있어서,상기 자동 제어 회로는상기 제 1 커패시터 또는 제 2 커패시터의 커패시턴스를 조절하여 상기 공진 주파수를 조절하고, 상기 매칭용 커패시터의 커패시턴스를 조절하여 상기 임피던스를 조절하는 것인, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 자동 제어 회로는,상기 공진기가 반사하는 신호가 최소가 되도록 하는 제어신호를 출력하는 것인, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 자동 제어 회로는,위상 감응 검출(Phase sensitive Detection) 방식에 따라, 상기 공진기에서 반사된 전자 상자성 공명 신호와 진폭 변조 신호를 곱셈한 후 저주파 통과 필터에 통과시킨 신호와 상기 진폭 변조 신호를 합산한 신호를 기초로, 상기 공진 주파수를 조절하는 제어 신호를 출력하는 것인, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 자동 제어 회로는,상기 공진기에서 반사된 전자 상자성 공명 신호를 전력 값으로 변환하는 다이오드 검출기,상기 다이오드 검출기의 출력을 필터링하는 고주파 통과 필터,상기 공진기에서 반사된 전자 상자성 공명 신호의 주파수와 동일한 주파수의 진폭 변조 신호를 생성하는 발진기,상기 발진기에서 출력된 진폭 변조 신호의 위상을 조절하는 위상 천이기,상기 고주파 통과 필터의 출력과 상기 위상 천이기의 출력을 곱하는 믹서,상기 믹서의 출력을 필터링하는 저주파 통과 필터,상기 DC 전압원,상기 위상 천이기의 출력인 진폭 변조 신호와, 상기 저주파 통과 필터의 출력 및 상기 DC 전압원을 합산하여 상기 공진기의 공진 주파수를 조절하는 제어신호를 출력하는 합산 증폭기를 포함하는 것인, 전자 상자성 공명 분광 장치
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제 8 항에 있어서,상기 자동 제어 회로는,상기 DC 전압원에 접속되며, DC 전압의 전압레벨을 조절하여, 상기 공진기의 임피던스를 조절하는 제어신호를 출력하는 제 1 가변저항 및상기 DC 전압원과 상기 합산 증폭기 사이에 접속되며, DC 전압의 전압레벨을 조절하여 상기 합산 증폭기로 전달하는 제 2 가변저항을 더 포함하는, 전자 상자성 공명 분광 장치
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