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웨이퍼가 안착되는 제1 면;상기 제1 면의 하부에 위치한 제2 면; 및상기 제1 면의 온도를 제어하는 온도 제어부;를 포함하고,상기 온도 제어부는, 상기 제1 면과 제2 면 사이에 형성되어, 열 전달 유체가 통과하는, 내부 공간; 및상기 내부 공간에 형성된 저항 요소;를 포함하는,웨이퍼 척
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제1항에 있어서,상기 저항 요소는 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면으로 연장하는 핀 형상을 갖는,웨이퍼 척
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제2항에 있어서,상기 저항 요소는 복수로 구성되고, 상기 저항 요소들에 의해 열 전달 유체가 차지하는 공간은 상기 내부 공간의 중심으로부터 방사 방향으로 갈수록 증가하는,웨이퍼 척
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제3항에 있어서,상기 방사 방향에 따른 상기 저항 요소들에 의해 열 전달 유체가 차지하는 공간은 다음 식을 만족하며,Y = aXn + bXn-1
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제4항에 있어서,상기 방사 방향에 따라 상기 저항 요소들에 의해 열 전달 유체가 차지하는 공간은 2차 곡선의 관계식을 만족하는,웨이퍼 척
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6
제2항에 있어서,상기 저항 요소들에 의해 열 전달 유체가 차지하는 공간은 상기 내부 공간의 중심으로부터 방사 방향으로 갈수록 감소하는,웨이퍼 척
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7
제1항에 있어서,상기 저항 요소는 상기 제1 면으로부터 제2 면으로 연장하고, 방사 방향을 향하는 블레이드 형상인,웨이퍼 척
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8
제1항에 있어서,상기 열 전달 유체의 유입구는 상기 웨이퍼 척의 방사 방향 외측에 마련되고, 상기 열 전달 유체의 배출구는 상기 웨이퍼 척의 중심에 인접하게 마련되는,웨이퍼 척
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