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복수의 캔틸레버를 구비하는 다채널 마이크로 음향장치 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014007822
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 길이가 각각 다른 캔틸레버를 제작하여 저주파수에서 고주파수까지의 음향에 응답성을 갖도록 하는 복수의 캔틸레버를 구비하는 다채널 마이크로 음향 장치 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 다채널 마이크로 음향 장치는 하면의 일부에 함몰부가 형성된 실리콘 기판과, 실리콘 기판의 함몰부상에 형성된 막이 복수의 장홈에 의하여 구분되는 띠형상의 복수의 캔틸레버와, 복수의 캔틸레버 단부의 상면에 형성된 하부 전극과, 하부 전극과 절연막으로 전기적으로 차단되도록 형성된 상부 전극과, 상부 전극 및 하부 전극에 전기적으로 각각 연결되도록 형성된 복수의 압전소자로 구성된다. 이에 따라, 본 발명은 서로 다른 공진 주파수를 가져 서로 다른 주파수 대역에서 동작하는 복수의 미세 캔틸레버를 구비하는 마이크로 음향 장치를 제조할 수 있다.주파수 대역, 음향, 캔틸레버, 다채널, 증착, 전극, 압전소자
Int. CL H04R 17/02 (2006.01) H03H 9/15 (2006.01)
CPC H04R 1/24(2013.01) H04R 1/24(2013.01) H04R 1/24(2013.01) H04R 1/24(2013.01) H04R 1/24(2013.01) H04R 1/24(2013.01)
출원번호/일자 1020050014297 (2005.02.22)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0756532-0000 (2007.08.31)
공개번호/일자 10-2006-0093464 (2006.08.25) 문서열기
공고번호/일자 (20070910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.02.22)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 대전 유성구
2 김용철 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2005-0091748-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2006-0047201-79
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0446110-19
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0721728-96
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0788110-94
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0887477-78
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0974540-76
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0087889-67
10 의견서
Written Opinion		 2007.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0087873-37
11 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0300871-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하면의 일부에 함몰부가 형성된 실리콘 기판과;상기 실리콘 기판의 함몰부상에 형성된 막이 복수의 장홈에 의하여 구분되는 띠형상의 복수의 캔틸레버와;상기 복수의 캔틸레버 단부의 상면에 형성된 하부 전극과;상기 하부 전극과 절연막으로 전기적으로 차단되도록 형성된 상부 전극과;상기 상부 전극 및 상기 하부 전극에 전기적으로 각각 연결되도록 형성된 복수의 압전소자로 구성되며상기 복수의 캔틸레버는 실리콘 기판평면의 X축과 Y축에 대하여 형성된 복수개의 장홈으로 구분되며 상기 띠형상의 복수의 캔틸레버는 상기 실리콘 기판평면의 Y축에 대하여 형성된 복수개의 장홈이 서로 엇갈리게 배치되어 길이가 각기 다르게 형성되는 다채널 마이크로 음향 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 하면의 일부에 함몰부가 형성된 실리콘 기판은상기 함몰부가 일정한 경사각을 갖는 사다리꼴 기둥형으로 형성된 다채널 마이크로 음향 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 하부 전극과 절연막으로 전기적으로 차단되도록 형성된 상부 전극은상기 하부 전극에 증착된 실리콘 산화막으로 구성된 절연막 상에 형성되어 상기 하부 전극과 전기적으로 차단되는 다채널 마이크로 음향 장치
6 6
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 복수의 압전소자는산화아연막으로 구성되는 다채널 마이크로 음향 장치
7 7
실리콘 기판을 열산화하여 상면과 하면에 실리콘 산화막을 형성시키는 단계와;상기 실리콘 산화막상에 실리콘 질화막을 저압화학 기상증착하는 단계와;상기 실리콘 기판의 하면에 형성된 상기 실리콘 산화막과 실리콘 질화막을 식각하여 실리콘막 함몰부를 형성시키는 단계와;상기 실리콘막 함몰부를 통하여 노출된 상기 실리콘 기판의 부분을 이방성 습식에칭하는 단계와;상기 실리콘 기판의 상면에 형성된 실리콘 질화막에 하부 전극을 증착하는 단계와;상기 하부 전극의 상부에 절연막을 증착하는 단계와;상기 절연막의 상부에 압전 소자를 증착하는 단계와;상기 압전 소자의 상부에 상부 전극을 증착하는 단계와;상기 실리콘 기판의 상부에 형성된 상기 실리콘 질화막과 상기 절연막에 반응성 이온식각을 통하여 복수의 장홈을 형성시키는 단계로 구성되며,상기 장홈은 X축 방향과 Y축 방향으로 복수 개가 형성되며, Y축 방향으로 서로 엇갈리게 배치되어 길이가 각기 다르게 형성되는 다채널 마이크로 음향 장치의 제조 방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 실리콘 산화막상에 실리콘 질화막을 저압화학 기상증착하는 단계는상기 실리콘 질화막을 저압화학 기상증착하는 시간을 조절하는 단계를 더 포함하는 다채널 마이크로 음향 장치의 제조 방법
9 9
제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 실리콘막 함몰부를 통하여 노출된 상기 실리콘 기판의 부분을 이방성 습식에칭하는 단계는상기 실리콘 기판을 사다리꼴 기둥형의 구멍을 갖도록 가공하는 다채널 마이크로 음향 장치의 제조 방법
10 10
제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 절연막의 상부에 압전 소자를 증착하는 단계는산화아연으로 구성된 물질을 고에너지의 아르곤 이온이 충돌하여 상기 절연막의 상부에 증착하는 다채널 마이크로 음향 장치의 제조 방법
11 11
삭제
12 12
제 10항에 있어서, 상기 실리콘 기판의 상부에 형성된 상기 실리콘 질화막과 상기 절연막에 반응성 이온식각을 통하여 복수의 장홈을 형성시키는 단계는X축 방향으로 형성된 복수의 장홈이 배열형태로 일정한 간격을 갖고 배치되도록 반응성 이온 식각하는 다채널 마이크로 음향 장치의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.