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경험적 데이터를 이용한 몬테 카를로 이온 주입 기법알고리즘

  • 기술번호 : KST2014009347
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도제 공정 과정 중 이온 주입 공정의 시뮬레이션에 관한 것으로서, 특히 개선된 몬테 카를로 기법을 사용한 확률론적 방법론을 이용하여 계산 효율을 증대를 위한 알고리즘 제공에 관한 것이다. 본 발명은 기존의 몬테 카를로 기법을 통해 얻어낸 공정 프로파일 이용하여 새로운 공정 시뮬레이션에 적용함으로써 중복적인 계산 시간을 줄임으로써 계산 효율을 증가시켰다. 이를 통해 보다 효율적인 공정 기법 연구를 수행할 수 있다. 반도체 공정, 이온 주입, 몬테 카를로.
Int. CL H01L 21/02 (2011.01) H01L 21/265 (2011.01)
CPC G06F 19/701(2013.01) G06F 19/701(2013.01)
출원번호/일자 1020080040149 (2008.04.30)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0114489 (2009.11.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 원태영 대한민국 경기도 화성시
2 박순열 대한민국 인천광역시 부평구
3 오혜근 대한민국 서울특별시 영등포구
4 김은진 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0310435-64
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-5035777-73
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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나노 단위 반도체 이온 주입 공정을 몬테 카를로 알고리즘을 사용하여 전산 모사하는데 있어서, (a) 기존 데이터 베이스를 검색하여 불러들여 오는 알고리즘 단계; 및 (b) 새로이 수행한 시뮬레이션 결과를 파라미터 별로 데이터 베이스화하는 알고리즘 단계를 포함하는 몬테 카를로 시뮬레이션 수행 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.