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리튬이차전지 양극 박막 형성 방법으로서,
a) Li2CO3, MnO2 및 SnO 분말을 혼합하여 혼합분말을 마련하는 단계;
b) 상기 혼합분말을 1차 분쇄하는 단계;
c) 상기 1차 분쇄된 혼합분말을 하소(calcination)하는 단계;
d) 상기 하소된 혼합분말을 2차 분쇄하는 단계;
e) 상기 2차 분쇄된 혼합분말을 가압성형 하는 단계;
f) 상기 가압성형된 혼합물을 소결하여 Li, Sn, Mn 및 O를 포함하는 타겟(target)을 제조하는 단계; 및
g) 상기 타겟에 레이저를 조사하여 기판에 상기 Li, Sn, Mn 및 O를 포함하는 양극박막을 국소증착하는 단계를 포함하는,
리튬이차전지 양극 박막 형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 양극 박막은,
LiSnx/2Mn2-xO4 (0003c#x≤0
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제1항에 있어서,
상기 a) 단계의 Li2CO3, MnO2 및 SnO 분말의 혼합 비율은 19
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4
제1항에 있어서,
상기 c) 단계는,
400 ℃~800 ℃에서 1~5 시간동안 공기분위기에서 상기 혼합된 분말을 하소하는, 리튬이차전지 양극 박막 형성 방법
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5
제1항에 있어서,
상기 e) 단계는,
상기 2차 분쇄된 혼합분말을 가압성형 하여 펠렛(pellet) 형태의 혼합물을 형성하는, 리튬이차전지 양극 박막 형성 방법
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6 |
6
제1항에 있어서,
상기 f) 단계는,
상기 가압성형된 혼합물을 800 ℃~1300 ℃에서 1~24 시간동안 공기분위기에서 소결하는, 리튬이차전지 양극 박막 형성 방법
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7
제1항에 있어서,
상기 g) 단계는,
기판온도 350 ℃~550 ℃, 상기 기판과 상기 타겟 간의 거리 3~5 cm, 산소 분압 0
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8
Li-Sn-Mn 산화물 타겟 제조 방법으로서,
a) Li2CO3, MnO2 및 SnO 분말을 혼합하여 혼합분말을 마련하는 단계;
b) 상기 혼합분말을 1차 분쇄하는 단계;
c) 상기 1차 분쇄된 혼합분말을 하소(calcination)하는 단계;
d) 상기 하소된 혼합분말을 2차 분쇄하는 단계;
e) 상기 2차 분쇄된 혼합분말을 가압성형 하는 단계;
f) 상기 가압성형된 혼합물을 소결하여 LiSnx/2Mn2-xO4 (0003c#x≤0
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제8항에 있어서,
상기 a) 단계의 Li2CO3, MnO2 및 SnO 분말의 혼합 비율은 19
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10
제8항에 있어서,
상기 c) 단계는,
400 ℃~800 ℃에서 1~5 시간동안 공기분위기에서 상기 혼합된 분말을 하소하는,
Li-Sn-Mn 산화물 타겟(target) 제조 방법
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11
제8항에 있어서,
상기 e) 단계는,
상기 2차 분쇄된 혼합 분말을 가압성형하여 펠렛(pellet)형태의 혼합물을 형성하는,
Li-Sn-Mn 산화물 타겟(target) 제조 방법
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12
제8항에 있어서,
상기 f) 단계는,
800 ℃~1300 ℃에서 1~24 시간동안 공기분위기에서 상기 가압성형된 혼합분말을 하소하는,
Li-Sn-Mn 산화물 타겟(target) 제조 방법
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13
제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 타겟은,
벌크용, 후막용 및 레이저 국소증착용 양극활물질 타겟으로 이용되는,
Li-Sn-Mn 산화물 타겟(target) 제조 방법
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리튬 이차전지로서,
LiSnx/2Mn2-xO4 (0003c#x≤0
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