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기판상에 Fe 및 As를 포함하는 철-비소 기반 초전도성 박막을 제조하는 방법에 있어서,
상기 초전도성 박막을 이루는 화합물의 각각의 조성원소를 화학양론수(stoichiometric number)에 해당하는 몰비만큼 혼합하고, 상기 As를 추가로 첨가하여 열처리함으로써 증착용 타겟을 제조하는 타겟 제조단계; 및
상기 타겟을 이용하여, 자외선영역대의 레이저를 이용한 증착에 의하여 상기 기판에 초전도성 박막을 증착하는 증착단계를 포함하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 As의 추가된 첨가량은, As의 화학양론수에 해당하는 몰비 대비 5 내지 50%인 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 철-비소 기반 초전도성 박막을 이루는 화합물은,
SrFe2-xCoxAs2, 여기서 0
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제1항에 있어서,
상기 기판은 란탄알루미네이트 단결정(LaAlO3) 또는 사파이어 단결정(Al2O3) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 증착단계는,
상기 기판을 진공 분위기에서 650 내지 900℃로 가열하고, 레이저를 이용하여 상기 기판에 초전도성 박막을 증착한 후, 초전도성 박막이 증착된 기판을 상온으로 냉각시키는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제5항에 있어서,
상기 기판을 가열하고 냉각시키는 가열수단은, 할로겐 램프인 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 자외선의 파장은 157 내지 351nm이며, 레이저의 진동수는 2 내지 50Hz, 레이저 빔의 에너지 밀도는 1 내지 5J/cm2인 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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8
제1항에 있어서,
상기 레이저는 엑시머레이저인 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 증착단계를 수행하기 전에, 수소를 사용하여 진공실 내의 산소를 제거하는 산소제거단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 증착단계에 의하여 증착된 초전도성 박막 위에 Au, Pt, Ag 중 적어도 하나로 이루어진 타겟을 이용하여 보호층을 증착하여 적층하는 보호층 형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 철-비소 기반 초전도성 박막 제조방법
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