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평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법 및 이를 이용하여 형성된

  • 기술번호 : KST2014033170
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평판 디스플레이패널의 검사에 사용하는 프로브 유닛의 복층 접속구조을 형성하는 방법 및 이에 따라 형성된 복층 접속구조에 관한 것이다. 본 발명의 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법은, 기판의 위에 다수의 신호선을 형성하는 단계; 상기 신호선이 형성된 기판의 위에 절연포토레지스트층을 도포하고 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2포토레지스트층의 패턴 위에 다수의 쇼팅선을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 절연포토레지스트층의 패턴이 상기 신호선의 위에 빈공간을 가지고 있어 상기 쇼팅선이 상기 신호선을 쇼팅하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 포토레지스트 층을 층간 절연체로 사용한 복층구조의 평판 디스플레이패널의 검사에 사용하는 프로브 유닛의 접속구조를 형성함으로써, 간단한 공정으로 효율이 뛰어난 복층의 접속구조를 얻을 수 있다. 또한 절연층을 형성하는 공정을 거치지 않기 때문에, 접속구조를 제조하는 공정의 효율이 향상되는 효과가 있다. 평판 디스플레이패널, 평판 표시패널, 프로브 유닛, 복층 접속구조
Int. CL G01R 1/067 (2006.01)
CPC G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01)
출원번호/일자 1020090078352 (2009.08.24)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1104903-0000 (2012.01.04)
공개번호/일자 10-2011-0020632 (2011.03.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.08.24)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 김윤식 대한민국 경기도 수원시 권선구
3 김정태 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0517821-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.01.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.01.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0005267-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0187149-97
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0418535-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0418536-69
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0780879-07
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 위에 다수의 신호선을 형성하는 단계; 상기 신호선이 형성된 기판의 위에 절연포토레지스트층을 도포하고 패턴을 형성하는 단계; 상기 절연포토레지스트층의 패턴 위에 다수의 쇼팅선을 형성하는 단계; 를 포함하고, 상기 절연포토레지스트층은 상기 신호선의 위에 일부 빈공간이 형성되도록 도포하며, 상기 쇼팅선은 절연포토레지스트층에 형성된 빈공간을 포함하여 금속층이 증착하고, 증착된 금속층의 일부를 에칭함으로써 상기 신호선을 쇼팅하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 절연포토레지스트층이 SU-8 포토레지스트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 신호선이 적색신호선, 녹색신호선 및 청색신호선이 교대로 위치하고, 상기 쇼팅선이 적색신호선들을 쇼팅시키는 적색쇼팅선, 녹색신호선들을 쇼팅시키는 녹색쇼팅선 및 청색신호선들을 쇼팅시키는 청색쇼팅선으로 이루어지는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 신호선을 형성하는 단계가, 상기 신호선에 맞는 신호선 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 금속의 증착 및 리프트 오프 공정을 실시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 쇼팅선을 형성하는 단계는, 상기 절연포토레지스트층의 위에 금속층을 증착하는 단계; 상기 쇼팅선이 형성될 위치에 쇼팅선 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속층에서 상기 쇼팅선 포토레지스트 패턴으로 보호되지 않는 부분을 에칭하여 제거하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조 형성방법
6 6
기판위에 형성된 다수의 신호선; 상기 다수의 신호선을 각각 절연시키기 위해 일부 빈공간이 형성되도록 상기 다수의 신호선 위에 도포되는 절연포토레지스트층; 및 상기 절연포토레지스트층의 위에 형성되며, 상기 절연포토레지스트층에 형성된 빈공간을 포함하여 증착된 금속층의 일부를 에칭하여 상기 다수의 신호선 중 일부를 쇼팅시키는 쇼팅선; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 신호선이 적색신호선, 녹색신호선 및 청색신호선이 교대로 위치하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 쇼팅선은 적색신호선들을 쇼팅시키는 적색쇼팅선, 녹색신호선들을 쇼팅시키는 녹색쇼팅선 및 척색신소선들을 쇼팅시키는 척색쇼팅선으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조
9 9
청구항 6에 있어서, 상기 절연포토레지스트층의 재질이 SU-8 포토레지스트인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조
10 10
청구항 6에 있어서, 상기 신호선과 상기 쇼팅선의 사이에 위치하는 상기 절연포토레지스트층의 두께가 2~3㎛인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이패널 검사용 프로브 유닛의 복층 접속구조
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패밀리정보가 없습니다
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