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막증착 진공장비용 샤워헤드
- 기술번호 : KST2014034708
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 반응기체 샤워헤드 모듈의 바닥으로부터 연결되는 반응기체 분사튜브의 길이를 짧게 형성할 수 있고, 하나의 반응기체 샤워헤드 모듈 내에서 서로 다른 두 종류의 반응기체를 분사지원 기체와 혼합하여 분사할 수 있도록 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드를 개시한다. 본 발명의 막증착 진공장비용 샤워헤드는, 냉각 자켓 위에 반응기체 샤워헤드 모듈을 배치하고, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈 위에 퍼지기체 샤워헤드 모듈을 배치하여, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 냉각 자켓을 관통시키고, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 반응기체 샤워헤드 모듈을 관통하여 상기 냉각 자켓 위의 퍼지기체 재분배 공간으로 퍼지기체가 유입되도록 하는 구성된다. 또한 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 및 제2 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 복수개의 유입구를 통해 복수의 반응기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 상기 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 복수의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합기체를 형성하도록 구성된다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020090048290 (2009.06.01) |
| 출원인 | 주식회사 피에조닉스, 한국생산기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1064210-0000 (2011.09.05) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0075649 (2009.07.08) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110914) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.06.01) |
| 심사청구항수 | 12 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 피에조닉스 | 대한민국 | 경기도 시흥시 군 |
| 2 | 한국생산기술연구원 | 대한민국 | 충청남도 천안시 서북구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 변 철 수 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
| 2 | 한 만 철 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 3 | 정 일 용 | 대한민국 | 충청남도 천안시 서북구 |
| 4 | 이 석 우 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이종우 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국생산기술연구원 | 대한민국 | 충청남도 천안시 서북구 |
| 2 | (주)잎이피지 | 경기도 시흥시 군 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0331158-93 |
| 2 | [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서 [Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document |
2009.06.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-5021653-83 |
| 3 | 조기공개신청서 Request for Early Opening |
2009.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0374308-97 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.05.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0306971-23 |
| 5 | 수수료 반환 안내서 Notification of Return of Official Fee |
2010.05.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0043519-56 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.08.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5161401-06 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.02.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0088529-99 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.04.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0257271-88 |
| 9 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0492137-15 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.04.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5068733-13 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.04.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5078631-33 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090658-47 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5017806-08 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.01.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5006834-98 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.01.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0003619-24 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.07.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5123030-77 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081113-28 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 반응기체가 유입되는 유입구와 반응기체를 분사하기 위한 분사튜브를 가지는 반응기체 샤워헤드 모듈; 퍼지기체가 유입되는 유입구와 퍼지기체를 분사하기 위한 분사튜브를 가지는 퍼지기체 샤워헤드 모듈; 및 냉각재가 유입 및 배출되는 입,출구를 가지고 윗부분에 퍼지기체 재분배 공간을 구비하는 냉각 자켓을 포함하는 막증착 진공장비용 샤워헤드에 있어서, 상기 냉각 자켓 위에 반응기체 샤워헤드 모듈을 배치하고, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈 위에 퍼지기체 샤워헤드 모듈을 배치하여, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 냉각 자켓을 관통시키고, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 반응기체 샤워헤드 모듈을 관통하여 상기 냉각 자켓 위의 퍼지기체 재분배 공간으로 퍼지기체가 유입되도록 하는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈과 퍼지기체 샤워헤드 모듈 사이에 또 다른 반응기체 샤워헤드 모듈을 더욱 배치하고, 위의 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 반응기체 샤워헤드 모듈과 냉각 자켓을 관통하는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈 위에 또 다른 반응기체 샤워헤드 모듈을 더욱 배치하고, 위의 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 퍼지기체 샤워헤드 모듈, 반응기체 샤워헤드 모듈 및 냉각 자켓을 관통하는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 및 제2 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 복수개의 유입구를 통해 복수의 반응기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 상기 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 복수의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합기체를 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 및 제2 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 복수개의 유입구를 통해 복수의 반응기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 상기 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 복수의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합기체를 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 내지 제3 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 반응기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 상기 반응기체와 다른 종류의 반응기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 제3 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되고, 상기 제3 중간판과 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 두 종류의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합 기체를 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 7 |
7 반응기체가 유입되는 유입구와 반응기체를 분사하기 위한 분사튜브를 가지는 반응기체 샤워헤드 모듈; 퍼지기체가 유입되는 유입구와 퍼지기체를 분사하기 위한 퍼지기체 분사구를 가지는 퍼지기체 샤워헤드 모듈; 및 냉각재가 유입 및 배출되는 입,출구를 가지고 윗부분에 퍼지기체 재분배 공간을 구비하는 냉각 자켓을 포함하는 막증착 진공장비용 샤워헤드에 있어서, 상기 냉각 자켓 위에 반응기체 샤워헤드 모듈을 배치하고, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈 위에 퍼지기체 샤워헤드 모듈을 배치하여, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 냉각 자켓을 관통하고, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈의 퍼지기체 분사구로부터 분사된 퍼지기체는 아래의 상기 반응기체 샤워헤드 모듈을 관통하여 마련된 안내관 내부를 따라서 상기 냉각 자켓 위의 퍼지기체 재분배 공간으로 유입되도록 하는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 8 |
8 제 7 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈과 퍼지기체 샤워헤드 모듈 사이에 또 다른 반응기체 샤워헤드 모듈을 더욱 배치하고, 위의 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 반응기체 샤워헤드 모듈과 냉각 자켓을 관통하는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 9 |
9 제 7 항에 있어서, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈 위에 또 다른 반응기체 샤워헤드 모듈을 더욱 배치하고, 위의 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 퍼지기체 샤워헤드 모듈, 반응기체 샤워헤드 모듈 및 냉각 자켓을 관통하는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 10 |
10 제 7항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 및 제2 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 복수개의 유입구를 통해 복수의 반응기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 상기 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 복수의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합기체를 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 11 |
11 제 7 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 및 제2 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 복수개의 유입구를 통해 복수의 반응기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 상기 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 복수의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합기체를 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 12 |
12 제 7 항에 있어서, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 내지 제3 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 반응기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 상기 반응기체와 다른 종류의 반응기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 제3 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되고, 상기 제3 중간판과 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 두 종류의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합 기체를 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US09315897 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20120067971 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | WO2010140778 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 4 | WO2010140778 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | DE112010002199 | DE | 독일 | DOCDBFAMILY |
| 2 | DE112010002199 | DE | 독일 | DOCDBFAMILY |
| 3 | US2012067971 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
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| 5 | WO2010140778 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 6 | WO2010140778 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
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- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1064210-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090601 출원 번호 : 1020090048290 공고 연월일 : 20110914 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110831 청구범위의 항수 : 6 유별 : H01L 21/205 발명의 명칭 : 막증착 진공장비용 샤워헤드 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 주식회사 피에조닉스 충청남도 천안시 서북구... |
| 1 |
(권리자) 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구... |
| 2 |
(권리자) (주)잎이피지 경기도 시흥시 군... |
| 2 |
(의무자) 주식회사 피에조닉스 충청남도 천안시 서북구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 256,500 원 | 2011년 09월 05일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 322,240 원 | 2014년 10월 16일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 304,000 원 | 2015년 09월 08일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 304,000 원 | 2016년 07월 01일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 556,000 원 | 2017년 07월 03일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 556,000 원 | 2018년 07월 02일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 556,000 원 | 2019년 06월 25일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 570,000 원 | 2020년 06월 25일 | 납입 |
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- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0331158-93 |
| 2 | [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서 | 2009.06.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-5021653-83 |
| 3 | 조기공개신청서 | 2009.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0374308-97 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.05.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0306971-23 |
| 5 | 수수료 반환 안내서 | 2010.05.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0043519-56 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.08.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5161401-06 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2011.02.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0088529-99 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.04.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0257271-88 |
| 9 | 등록결정서 | 2011.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0492137-15 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.04.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5068733-13 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.04.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5078631-33 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090658-47 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5017806-08 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.01.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5006834-98 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.01.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0003619-24 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.07.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5123030-77 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081113-28 |
| 기술번호 | KST2014034708 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | |
| 기술명 | 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 기술개요 |
반응기체 샤워헤드 모듈의 바닥으로부터 연결되는 반응기체 분사튜브의 길이를 짧게 형성할 수 있고, 하나의 반응기체 샤워헤드 모듈 내에서 서로 다른 두 종류의 반응기체를 분사지원 기체와 혼합하여 분사할 수 있도록 하는 막증착 진공장비용 샤워헤드를 개시한다. 본 발명의 막증착 진공장비용 샤워헤드는, 냉각 자켓 위에 반응기체 샤워헤드 모듈을 배치하고, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈 위에 퍼지기체 샤워헤드 모듈을 배치하여, 상기 반응기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 냉각 자켓을 관통시키고, 상기 퍼지기체 샤워헤드 모듈의 분사튜브는 아래의 상기 반응기체 샤워헤드 모듈을 관통하여 상기 냉각 자켓 위의 퍼지기체 재분배 공간으로 퍼지기체가 유입되도록 하는 구성된다. 또한 상기 반응기체 샤워헤드 모듈은, 위판과 바닥판 사이에 제1 및 제2 중간판을 형성하여, 상기 위판과 제1 중간판 사이의 공간으로는 복수개의 유입구를 통해 복수의 반응기체가 유입되고, 상기 제1 중간판과 제2 중간판 사이의 공간으로는 하나의 유입구를 통해 분사지원 기체가 유입되며, 상기 제2 중간판과 상기 바닥판 사이의 공간인 혼합실 안에서 상기 복수의 반응기체와 상기 분사지원 기체가 서로 혼합되어 혼합기체를 형성하도록 구성된다. |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 막증착 진공장비용 샤워헤드 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스 |
| 사업화적용실적 | - |
| 도입시고려사항 | - |
| 과제고유번호 | 1415106759 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 09EO10005 |
| 연구과제명 | 다성분계기능성박막제조공정원천기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
| 연구주관기관명 | 한국생산기술연구원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200901~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
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