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임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조 방법 (The Fabricating Method of Pattened Sapphire Substrate Using Imprinting)

  • 기술번호 : KST2014035941
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스텝퍼 장비로 식각장애물을 제작할 시의 노광 패턴경계면의 정렬 오류로 인한 불량패턴 양산, 하드 베이킹(hard baking) 과정에 의해 생기는 패턴 변형 및 이에 따른 소자 수율 감소의 문제점을 해결하고, 다양한 패턴을 사파이어 기판에 형성할 수 있도록 하여, 소자의 사용 용도에 따른 조도의 효율을 향상시킬 수 있으며, 공정 단계를 간소화하여 제조 시간을 줄임으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 사파이어 기판 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 제1 제조 방법은, 음각으로 패턴이 형성된 몰더를 제조하는 단계; 사파이어 기판 위에 고분자 수지를 적층하는 단계; 상기 고분자 수지가 적층된 사파이어 기판 위에 상기 음각으로 패턴이 형성된 몰더를 덮는 단계; 상기 사파이어 기판 위에 상기 몰더가 덮여져 있는 상태에서 압력을 가한 후, 열 또는 자외선(UV)을 가하여 상기 고분자 수지를 경화시키는 단계; 상기 사파이어 기판과 상기 몰더를 분리시키는 단계를 포함하여 이루어진다.
Int. CL B29C 59/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC B29C 59/02(2013.01) B29C 59/02(2013.01) B29C 59/02(2013.01) B29C 59/02(2013.01)
출원번호/일자 1020110147476 (2011.12.30)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0006001 (2012.01.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2007-0106611 (2007.10.23)
관련 출원번호 1020070106611
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박세근 대한민국 서울특별시 서초구
2 김한형 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2011.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-1055564-02
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
패턴의 너비와 폭만 정의할 수 있어 원기둥 또는 다각기둥 이외의 다양한 형상의 패턴을 형성하는 것이 불가능한 종래기술의 단점을 해결하기 위해, 원뿔이나 다각뿔, 원뿔대나 다각뿔대와 같이 원하는 형상으로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조방법에 있어서, 음각으로 패턴이 형성된 몰더를 제조하는 단계와, 사파이어 기판 위에 고분자 수지를 적층하는 단계와, 상기 고분자 수지가 적층된 사파이어 기판 위에 상기 음각으로 패턴이 형성된 몰더를 덮는 단계와, 상기 사파이어 기판 위에 상기 몰더가 덮여져 있는 상태에서 압력을 가한 후, 열 또는 자외선(UV)을 가하여 상기 고분자 수지를 경화시키는 단계와, 상기 사파이어 기판과 상기 몰더를 분리시키는 단계를 포함하고, 상기 패턴은, 상기 몰더에 형성된 음각 패턴의 형태에 대응하도록, 원기둥, 다각기둥, 원뿔, 다각뿔, 원뿔대, 또는 다각뿔대 중 적어도 어느 하나 이상의 형태로 형성되며, 상기 몰더는 실리콘, 고분자 수지, 니켈, 실리카 중 적어도 어느 하나 이상을 사용하여 제조되고, 상기 고분자 수지는 3㎛의 두께로 형성됨으로써, 상기 몰더와 상기 사파이어 기판의 분리 후 패턴으로 형성된 상기 고분자 수지 이외의 부분이 상기 사파이어 기판에 잔류하는 것을 최소화할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 고분자 수지는 열경화성 고분자 수지 또는 자외선 경화성 고분자 수지인 것을 특징으로 하는 임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조방법
3 3
패턴의 너비와 폭만 정의할 수 있어 원기둥 또는 다각기둥 이외의 다양한 형상의 패턴을 형성하는 것이 불가능한 종래기술의 단점을 해결하기 위해, 원뿔이나 다각뿔, 원뿔대나 다각뿔대와 같이 원하는 형상으로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조방법에 있어서, 음각으로 패턴이 형성된 몰더를 제조하는 단계와, 상기 몰더 위에 고분자 수지를 적층하는 단계와, 상기 고분자 수지가 적층된 몰더 위에 사파이어 기판을 덮는 단계와, 상기 몰더 위에 상기 사파이어 기판이 덮여져 있는 상태에서 압력을 가한 후, 열 또는 자외선(UV)을 가하여 상기 고분자 수지를 경화시키는 단계와, 상기 사파이어 기판과 상기 몰더를 분리시키는 단계를 포함하고, 상기 패턴은, 상기 몰더에 형성된 음각 패턴의 형태에 대응하도록, 원기둥, 다각기둥, 원뿔, 다각뿔, 원뿔대, 또는 다각뿔대 중 적어도 어느 하나 이상의 형태로 형성되며, 상기 몰더는 실리콘, 고분자 수지, 니켈, 실리카 중 적어도 어느 하나 이상을 사용하여 제조되고, 상기 고분자 수지는 3㎛의 두께로 형성됨으로써, 상기 몰더와 상기 사파이어 기판의 분리 후 패턴으로 형성된 상기 고분자 수지 이외의 부분이 상기 사파이어 기판에 잔류하는 것을 최소화할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 고분자 수지는 열경화성 고분자 수지 또는 자외선 경화성 고분자 수지인 것을 특징으로 하는 임프린팅 공정을 이용한 패턴된 사파이어 기판 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020090041088 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
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국가 R&D 정보가 없습니다.